[发明专利]一种生物传感器及其制作方法

说明书

本申请提供了一种生物传感器及其制作方法，涉及半导体技术领域。首先基于一衬底制作生物传感器的本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层，然后沿所述栅电极层外延生长过渡层，并对所述过渡层进行刻蚀，以在所述过渡层的表面形成多个凸起，最后沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器，其中，所述生物活性分子分布于每个凸起的表面和/或每两个凸起之间。本申请提供的生物传感器及其制作方法具有承载的生物活性分子的量更加灵活的效果。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种生物传感器及其制作方法。

背景技术

目前，基于酶/免疫反应联合技术的传统“生物芯片”研发与应用已经趋近成熟，主要的技术路线是使用微流控技术与免疫酶联反应微区结合，以免疫反应显色，通过光谱学对生物样品如血液、体液、组织细胞等特定指标进行定量检测。目前广泛应用的技术是ELISA(enzyme linked immunosorbent assay，酶联免疫吸附测定)，已开发出大量的试剂盒，使用简单，成本较低还可以自动化检测。此类技术的出现极大提升了生物反应以及生物化学检测的效率以及准确度，但是也面临一些挑战，比如需要复杂的光学设备，周边物理、电子器件(如光谱仪、微流泵、相应的检测电路等)的支持，导致系统无法做到更加小型、高效和低成本。

因此在此基础上开发出新一代的“生物-电子芯片”。目前国际主流的做法是，通过将特定的酶、抗体分子等，用化学、物理耦合作用实现与晶体管特定区域的结合，通过生物活性分子与酶之间的化学反应，产生的界面电动势、界面电容或界面张力等的变化，将其变化通过下层的晶体管直接转换成电信号，从而完成生物化学反应的定性表征与定量测试。

但是，由于典型的酶联晶体管生物传感器芯片本身体积固定，因此其能够承载的生物活性分子也固定，导致无法灵活的在生物传感器芯片上酶联生物分子层。

发明内容

本申请的目的在于提供一种生物传感器制作方法，以解决现有技术中生物传感器的生物活性分子的负载率不灵活的问题。

本申请的另一目的在于提供一种生物传感器，以解决现有技术中生物传感器的生物活性分子的负载率不灵活的问题。

为了实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提供了一种生物传感器制作方法，所述方法包括：

基于一衬底制作生物传感器的本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层；

沿所述栅电极层外延生长过渡层；

对所述过渡层进行刻蚀，以在所述过渡层的表面形成多个凸起；

沿所述过渡层的表面偶联生物活性分子，以形成所述生物传感器，其中，所述生物活性分子分布于每个凸起的表面及每两个凸起之间。

第二方面，本申请实施例提供了一种生物传感器，所述生物传感器包括：

本体结构，其中，所述本体结构包括栅电极层；与覆盖于所述栅电极层上的过渡层，其中，所述过渡层的表面包括多个凸起；及覆盖于所述过渡层表面的生物活性分子层，其中，所述生物活性分子层中的生物活性分子分布于每个凸起的表面及每两个凸起之间。

相对于现有技术，本申请具有以下有益效果：