[发明专利]金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备

说明书

本发明公开了一种金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备，该金属薄膜预对准装置包括：支撑框架、支承板、回转轴承和驱动电机，回转轴承设置在支撑框架和支承板之间，且回转轴承的外圈与支撑框架连接，回转轴承的内圈与支承板连接，驱动电机包括电机定子和电机动子，电机定子与支撑框架连接，电机动子与支承板连接，电机动子被配置为能够在电机定子的驱动下带动支承板绕回转轴承的中心转动。上述的金属薄膜预对准装置能够有效提高张网设备的工作效率、降低张网设备的使用成本。相应地，本发明还提供一种金属薄膜预对准方法及张网设备。

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备。

背景技术

张网设备是OLED(OrganicElectroluminesence Display有机发光半导体)小分子有机材料蒸镀产线的关键设备。在OLED蒸镀过程中，金属薄膜(蒸镀网版)起到模版的作用，把金属薄膜上的图案蒸镀在玻璃基板表面。张网设备能够将高精度的金属薄膜固定在网框上，以使金属薄膜在后续的工作过程中图像位置正确、不变形、不扭曲。

一般地，网框放置在张网设备的工件台上，张网设备通过传输机械手将版库中的金属薄膜传送到夹爪交接位，再由夹爪将金属薄膜放置到网框上以对金属薄膜和网框进行张网焊接固定。然而，由于金属薄膜尺寸较大(长度为1200mm，宽度为20mm～400mm，厚度为5um～50um)，在传输机械手传送过程中金属薄膜会出现较大的R_Z向偏转而影响金属薄膜与网框的对准精度，使得张网设备无法完成指定张网精度。

为克服金属薄膜出现R_Z向偏转对张网精度的影响，传统张网设备通过测量装置采集金属薄膜的R_Z向偏移量，根据采集到的金属薄膜的R_Z向偏移量控制工件台转动，使网框在R_Z向偏移相同的偏移量后再将金属薄膜放置到网框上，以确保金属薄膜与网框的对准精度，保证张网设备能够完成指定张网精度。但是，由于工件台体积大、重量大，使得工件台的运动灵活性较低，工件台转动缓慢且转动过程中耗能较大，严重影响张网设备的工作效率和使用成本。

发明内容

本发明的目的在于提出一种金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备，能够提高张网设备工作效率、节约张网设备使用成本。

为达此目的，一方面，本发明采用以下技术方案：

一种金属薄膜预对准装置，包括：支撑框架、支承板、回转轴承和驱动电机，所述回转轴承设置在所述支撑框架和所述支承板之间，且所述回转轴承的外圈与所述支撑框架连接，所述回转轴承的内圈与所述支承板连接，所述驱动电机包括电机定子和电机动子，所述电机定子与所述支撑框架连接，所述电机动子与所述支承板连接，所述电机动子被配置为能够在所述电机定子的驱动下带动所述支承板绕所述回转轴承的中心转动。

在其中一个实施例中，所述电机定子和所述电机动子中一个为磁铁，另一个为线圈，所述支撑框架的一端设置有定子安装架，所述支承板上对应的位置上设置有动子安装架，所述电机定子与所述定子安装架连接，所述电机动子与所述动子安装架连接。

在其中一个实施例中，所述金属薄膜预对准装置还包括光栅位移传感器和控制器，所述光栅位移传感器的光栅尺设置在所述支承板上，所述光栅传感器的光栅读数头设置所述支撑框架上，所述控制器分别与所述驱动电机和所述光栅读数头连接。

在其中一个实施例中，所述金属薄膜预对准装置还包括第一隔磁板和第二隔磁板，所述第一隔磁板设置在所述电机定子上，且所述第一隔磁板设置在所述电机定子与所述支承板之间，所述第二隔磁板设置在所述支承板上，所述第二隔磁板设置在所述支承板与所述第一隔磁板之间。

在其中一个实施例中，所述金属薄膜预对准装置还包括平衡块，所述平衡块设置在所述支承板的与设置有所述动子支撑架的一端相对的另一端上。