[发明专利]一种组合式真空镀膜系统的生产方法

权利要求书

1.在根据集成共涂覆真空系统的涂覆方法的用于真空涂覆的集成真空涂覆设备中,该表面在抛光后经过电解处理，并在腔室的外壁上具有一个或多个备用端口，并通过O形圈密封；被拉入箱门腔并被驱动旋转和喷射运动，包括电动机，符合IS0的法兰，波纹管，手柄，齿轮，行程计和目标支架，以保持目标支架的恒定温度分布一种机械手，其具有插入有冷却管的冷却套，一种底板，在IS0标准法兰上装有两个或多个信号源，并具有备用端口，以便以后可以根据用户的选择轻松更换；和包括；安装在腔室部分内壁上的辐射悬架，该源的特征在于，来自由溅射源，蒸发源，热源，电子束源，epizone电池源，可固化衬里源，离子源或激光沉积源组成的源群中的至少两个或更多个被组合，集成式真空镀膜单元，包含一般独立的镀膜单元。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述热源，集成了通用独立涂层设备的集成真空涂层设备，其特征在于，高压进给装置配备了用于向上，向下，向左和向右位置可变调整的源夹具。

3.根据权利要求1的方法，安装在喷枪和喷枪之间的辐射谢尔；和以及安装在喷枪中的百叶窗，以同时或有序地操作涂层，从而可以根据用户的意愿操作涂层。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述靶支架，包括加热器或水冷套，

结合有通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，安装了靶支架掩模。

5.根据权利要求5的方法电机轴和冷却套轴之间的连接接头，结合有通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，冷却管安装在冷却套轴的内部。

6.根据权利要求1的方法，结合了通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，所述靶保持器轴和所述靶掩模通过电动机单独或同时旋转，并且所述菜单板和冷却轴以中空类型连接。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括使冷却轴平稳旋转并防止变形的轴承装置，并且还包括在目标罩中的齿轮和滚珠轴承装置。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述冷却轴，集成有通常独立的涂覆装置的集成真空涂覆装置，其特征在于，入口冷却连接器和出口冷却连接器以预定距离安装，并且目标保持器和面罩固定件使用磁体或蝶形螺栓安装。