[发明专利]一种可动多离子源配置的离子束刻蚀机

权利要求书

1.一种可动多离子源配置的离子束刻蚀机，其特征在于：该刻蚀机包括反应腔体，该反应腔体上设有窗口，反应腔体的中心处布置电极运动驱动机构，电极运动驱动机构上设有载片电极，载片电极上放置晶圆；

所述的反应腔体内位于晶圆的上方设有一个或多个离子源；一个或多个离子源与晶圆之间布置分别布置中和器；一个或多个离子源所发出的离子束通过中和器所发出的中和束流；

所述的一个离子源以载片电极为圆心在载片电极上方沿圆弧形方向进行运动；

所述的多个离子源以载片电极为圆心在载片电极上方沿弧形方向进行运动；

所述的反应腔体成半圆形腔体；半圆形的反应腔体内的离子源布置为三个；其三个离子源分别位于半圆形的反应腔体的内壁，三个离子源的移动范围为载片电极的左、右两侧部及顶部；

所述的三个离子源分别独立移动，三个离子源的移动范围相互对称；所述的左右两侧的离子源作弧形运动；顶部的离子源作弧形运动。

2.根据权利要求1所述的可动多离子源配置的离子束刻蚀机，其特征在于：所述的中和器布置在离子源，中和器与离子源同步运作；离子束通过中和束流照射在晶圆上。

3.根据权利要求1所述的可动多离子源配置的离子束刻蚀机，其特征在于：所述的中和器分别位于载片电极的两侧，成一定仰角布置在反应腔体底端；中和器所发射的中和束流在载片电极上方交错形成三角形中和束流；离子束通过三角形中和束流照射在晶圆上。