[发明专利]使基板保持器保持基板的方法

权利要求书

1.一种使基板保持器保持基板的方法，其中，

所述基板保持器包括：

前框架；

后框架；

夹持器，用于夹持所述前框架及所述后框架；以及

密封件，构成为在所述前框架及所述后框架被夹持时，所述前框架与所述后框架中的一者与基板接触，

所述方法包括：

将所述前框架与所述后框架中的至少一者向另一者按压，将所述密封件压于基板并进行压缩的步骤；以及

在所述密封件被压缩的状态下，利用所述夹持器夹持所述前框架及所述后框架的步骤，

在压缩所述密封件的步骤中，对所述前框架与所述后框架中的至少一者施加力的部位是比所述密封件更靠近所述夹持器的位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述基板保持器还包括配置于所述前框架与所述后框架之间的外密封件，

从所述基板保持器所保持的基板的中心来看朝向外侧依次配置所述密封件、所述外密封件、及所述夹持器，被施加所述力的部位比所述外密封件更靠外侧。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，

所述基板保持器构成为保持方形基板。