[发明专利]多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块在审
| 申请号： | 201910783400.7 | 申请日： | 2015-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110481830A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 宫尾秀一;冈田淳一;祢津茂义 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B65B5/04 | 分类号： | B65B5/04;B65B55/24;C01B33/035;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11219 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 杨青;安翔<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶棒 多晶硅棒 塑料制袋 反应器 清洗 保管 蚀刻 亚硝酸根离子 硝酸根离子 表面污染 多晶硅块 金属污染 西门子法 氟离子 合成硅 内表面 密闭 覆盖 热封 收容 取出 残留 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种方法，其是将刚利用西门子法合成后的硅多晶棒取出到反应器外的方法，其特征在于，
具备如下工序：将所述反应器打开后，将所述多晶硅棒在所述反应器内立即收容到厚度为100～500μm的线性聚乙烯即LLDPE制袋中，取出到所述反应器外，然后，将所述LLDPE制袋在反应器外进行密封而将所述硅多晶棒密封，
所述LLDPE制袋是其内表面利用0.1～10重量％的稀硝酸水溶液或稀盐酸水溶液进行稀酸水溶液清洗后、在等级1000以上的水平的洁净室内干燥的袋。
2.如权利要求1所述的方法，其中，在所述稀酸水溶液清洗与所述干燥之间进行利用超纯水的清洗。
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