[发明专利]一种晶圆测试探针板卡组件在审
| 申请号： | 201910738446.7 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110600391A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王媛 | 申请（专利权）人： | 苏州容启传感器科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 朱华庆 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 快门 板卡 供给源 晶圆 供给源设置 板卡组件 测试探针 供电芯片 温度源 新结构 状态时 检测 探针 有向 种晶 光源 测试 延伸 | ||
1.一种晶圆测试探针板卡组件，其特征在于，它包括：
板卡（1），所述板卡（1）上开设有第一孔（2），所述板卡（1）上还设置有向待检测晶圆延伸的探针（4）；
供给源（5），所述供给源（5）包括光源或温度源，所述供给源（5）设置在对应于所述第一孔（2）的位置，所述供给源（5）和待检测晶圆分别位于所述板卡（1）两侧；
快门（6），所述快门（6）设置在所述第一孔（2）处，所述快门（6）至少具有打开状态和关闭状态，当所述快门（6）处于所述打开状态时，所述第一孔（2）被打开，当所述快门（6）处于所述关闭状态时，所述第一孔（2）被关闭。
2.根据权利要求1所述的晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述板卡（1）上还开设有第二孔（3），所述第二孔（3）中设置有打点器。
3.根据权利要求1所述的晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述供给源（5）的功率为可调节设置。
4.根据权利要求1所述的晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述供给源（5）为红外光源。
5.根据权利要求1所述的晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述供给源（5）允许长时间打开，以保持输出信号的稳定和持续性。
6.根据权利要求1所述的晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述快门（6）的打开速度和/或打开时间为可调节设置。
7.根据权利要求2所述的晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述第二孔（3）相对于所述探针（4）的位置偏移被计算入打点位置信息。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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