[发明专利]微影系统及其操作方法

说明书

一种微影系统及其操作方法。提供了包括如下步骤的方法。朝向激发区域射出主液滴及卫星液滴。卫星液滴远离激发区域偏转。激光光束朝向激发区域发射以激发主液滴来产生极紫外光。使用第一光学反射器将极紫外光导引至光罩上，以使得赋予极紫外光具有光罩的图案。使用第二光学反射器将具有此图案的极紫外光导引至晶圆上。

技术领域

本揭露是关于一种微影系统及其操作方法。

背景技术

集成电路(IC)的制造已经通过增加在半导体装置中形成的IC的密度来驱使。这通过实施更积极的设计规则以允许形成更大密度的IC装置来达成。尽管如此，增加的IC装置(诸如晶体管)的密度亦增加具有减小的特征大小的处理半导体装置的复杂性。

发明内容

根据本揭示的各个实施例，提供了一种方法。此方法包括如下步骤。朝向激发区域射出主液滴及卫星液滴。卫星液滴远离激发区域偏转。激光光束朝向激发区域发射以激发主液滴来产生极紫外光。使用第一光学反射器将极紫外光导引至光罩上，以使得赋予极紫外光具有光罩的图案。使用第二光学反射器将具有此图案的极紫外光导引至晶圆上。

根据本揭示的各个实施例，提供一种方法。此方法包括如下步骤。第一液滴及第二液滴沿着相同的初始路径射出，并且第二液滴具有与第一液滴相比较轻的重量。将力施加在第一及第二液滴上，以使得第一及第二液滴分别沿着第一路径及与第一路径不同的第二路径移动。在第一路径上将激光光束发射到第一液滴以产生极紫外(EUV)光。使用第一光学反射器将极紫外光导引至光罩上，使得赋予极紫外光具有光罩的图案。使用第二光学反射器将具有此图案的极紫外光导引至晶圆上。

根据本揭示的各个实施例，一种微影系统包括收集器、激光产生器、液滴产生器、及液滴偏向器。收集器具有反射镜表面。激光产生器的目标为在收集器的反射镜表面前面的激发区域。液滴偏向器可操作以在液滴产生器与激发区域之间的一位置处施加力。

附图说明

当结合随附附图阅读时，自以下详细描述将很好地理解本揭示的态样。应注意，根据工业中的标准实务，各个特征并非按比例绘制。事实上，出于论述清晰的目的，可任意增加或减小各个特征的尺寸。

图1图示根据本揭示的一些实施例的微影系统；

图2是根据本揭示的一些实施例的制程的流程图；

图3图示根据本揭示的一些实施例的图1的微影系统，图2的制程利用此微影系统实施；

图4图示图3的微影系统的局部放大的视图；

图5图示根据本揭示的一些实施例的图1的微影系统，图2的制程利用此微影系统实施；

图6图示根据本揭示的一些实施例的微影系统；

图7图示在操作期间的微影系统的局部放大的视图；

图8图示根据本揭示的一些实施例的在操作期间的微影系统的局部放大的视图；

图9图示根据本揭示的一些实施例的在操作期间的微影系统的局部放大的视图。

【符号说明】

100A 微影系统

102 腔室

104 步进电动机

110 收集器

112 凹面镜表面

113 开口

114 焦点

116 对称轴

118 中心

120 激光产生器

121 光学路径