[发明专利]微影系统及其操作方法

权利要求书

1.一种微影系统的操作方法，其特征在于，包含：

朝向一激发区域射出一主液滴及一卫星液滴，其中该主液滴及该卫星液滴沿着一初始路径从一液滴产生器射出；

在该初始路径上对该主液滴及该卫星液滴施加一力，使该主液滴及该卫星液滴偏转，其中该卫星液滴远离该激发区域偏转；

朝向该激发区域发射一激光光束以激发该主液滴来产生一极紫外光；

使用一第一光学反射器将该极紫外光导引至一光罩上，以使得赋予该极紫外光具有该光罩的一图案；以及

使用一第二光学反射器将具有该图案的该极紫外光导引至一晶圆上。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中执行发射该激光光束，使得该偏转的卫星液滴不由该激光光束激发。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该主液滴偏转了一第一距离，并且该卫星液滴偏转了与该第一距离相比较大的一第二距离。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包含：

在施加该力之后暂停射出该主液滴及该卫星液滴；以及

在暂停射出该主液滴及该卫星液滴之后暂停施加该力。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包含：

在暂停施加该力之前暂停发射该激光光束。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该激光光束沿着与该力的一方向相反的一方向发射。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该激光光束沿着与该力的一方向相同的一方向发射。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该激光光束从一收集器的一背侧发射到收集器的一前侧，并且该卫星液滴朝向该收集器的该背侧偏转。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该激光光束从一收集器的一背侧发送到收集器的一前侧，该卫星液滴远离该收集器的该前侧偏转。

10.一种微影系统的操作方法，其特征在于，包含：

沿着一相同初始路径射出一第一液滴及一第二液滴，该第二液滴具有与该第一液滴相比较轻的一重量；

在该第一液滴及该第二液滴上施加一力，以使得该第一液滴及该第二液滴分别沿着一第一路径及该第一路径不同的一第二路径移动，其中该第一路径及该第二路径自该相同初始路径偏移；

在该第一路径上将一激光光束发射到该第一液滴以产生一极紫外光；

使用一第一光学反射器将该极紫外光导引至一光罩上，使得赋予该极紫外光具有该光罩的一图案；以及

使用一第二光学反射器将具有该图案的该极紫外光导引至一晶圆上。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，其中在将该激光光束发射到该第一液滴期间该第二液滴不由该激光光束发射。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，进一步包含：

分别使用不同的液滴捕获器来捕获该第一液滴及该第二液滴。

13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，其中在该第一液滴及该第二液滴上施加该力包含：

产生到该第一液滴及该第二液滴的一波或一气流。

14.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，其中在该第一液滴及该第二液滴施加该力包含：

在该第一液滴及该第二液滴的该初始路径上产生一电场。