[发明专利]适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块

权利要求书

1.一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，用于同时检测多个待测单元，其特征在于：各所述待测单元具有一第一主边缘、一第二主边缘、连接所述第一主边缘及所述第二主边缘的一第一侧边缘及一第二侧边缘，以及多个导电接点，所述多个待测单元中包含一第一待测单元及一第二待测单元，所述第一待测单元的第二侧边缘与所述第二待测单元的第一侧边缘相邻，所述第一待测单元的导电接点中包含一邻近所述第一待测单元的第二主边缘及第二侧边缘的第一交界接点，所述第二待测单元的导电接点中包含一邻近所述第二待测单元的第二主边缘及第一侧边缘的第二交界接点；所述探针模块包含有：

至少一探针座；

多个探针，各所述探针包含有一悬臂段及一点触段，所述悬臂段具有一与所述探针座固接的固定部，以及一连接于所述固定部且自所述探针座一内侧面延伸而出的外露部，所述点触段连接于所述外露部；

其中，所述至少一探针座中包含一第一探针座，所述多个探针中包含多个设置于所述第一探针座的交界探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述第一探针座，所述探针模块的至少部份交界探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至所述第一交界接点及所述第二交界接点上方进而以其点触段点触所述第一交界接点及所述第二交界接点。

2.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的导电接点中包含多个邻近于所述待测单元的第一主边缘的第一导电接点；所述探针模块的探针中包含多个设置于所述第一探针座的第一探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述第一探针以其悬臂段经过各所述待测单元的第一主边缘上方而延伸至各所述第一导电接点上方进而以其点触段点触各所述第一导电接点；各所述交界探针位于各所述第一探针上方。

3.如权利要求2所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的第一导电接点实质上平行于一水平假想轴线地沿所述第一主边缘排成一行；各所述第一探针以实质上对应各所述第一导电接点的排列方式在一假想水平面上排成一行；各所述交界探针位于另一假想水平面上。

4.如权利要求2所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的第一导电接点实质上平行于一水平假想轴线地排成多个行，其顺序自所述第一主边缘朝所述第二主边缘的方向排列；各所述第一探针以实质上对应各所述第一导电接点的排列方式在多个假想水平面上排成多个行，其顺序为由下而上地对应第一导电接点的所述多个行的顺序；各所述交界探针位于另一假想水平面上。

5.如权利要求1所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：各所述待测单元的导电接点中包含多个邻近于所述待测单元的第二主边缘的第二导电接点，各所述第二导电接点中包含多个中间接点、至少一位于各所述中间接点与所述第一侧边缘之间的第一侧接点，以及至少一位于各所述中间接点与所述第二侧边缘之间的第二侧接点，所述第一待测单元的第一交界接点为所述第二侧接点，所述第二待测单元的第二交界接点为所述第一侧接点；所述探针模块的至少一探针座中更包含一第二探针座，所述探针模块的探针中包含多个设置于所述第二探针座的第二探针，当所述探针模块检测各所述待测单元时，各所述待测单元的第二主边缘比第一主边缘更靠近所述第二探针座，所述探针模块的至少部分第二探针以其悬臂段经过所述第一待测单元及第二待测单元的第二主边缘上方而延伸至所述第一待测单元及第二待测单元的中间接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元及第二待测单元的中间接点。

6.如权利要求5所述的适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块，其特征在于：当所述探针模块检测各所述待测单元时，所述探针模块的部分第二探针以其悬臂段经过所述第一待测单元及第二待测单元的第二主边缘上方而延伸至所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点上方进而以其点触段点触所述第一待测单元的第一侧接点及第二待测单元的第二侧接点。