[发明专利]一种二茂钴阳离子基缓蚀剂及制备方法和使用方法

权利要求书

1.一种二茂钴阳离子基缓蚀剂，其特征在于：1.0～3.0的树脂X与0.1～0.2份的含不同长烷基链二茂钴六氟磷酸盐R进行离子交换反应，形成结构中含不同长烷基链二茂钴阳离子基团，化合物的结构式为：

其中：R＝-C_nH_2n+1，n＝4～20；X＝F，Cl，Br，I，SCN，CN。

2.根据权利要求1所述二茂钴阳离子基缓蚀剂，其特征在于：所述R＝-C₁₂H₂₅，化合物的结构式为：

3.根据权利要求1所述二茂钴阳离子基缓蚀剂，其特征在于：所述R＝-C₁₄H₂₉，化合物的结构式为：

4.根据权利要求1所述二茂钴阳离子基缓蚀剂，其特征在于：所述R＝-C₁₆H₃₃，化合物的结构式为：

5.一种制备权利要求1～4所述任一项二茂钴阳离子基缓蚀剂的方法，其特征在于步骤如下：

步骤1：将1.0～3.0份的树脂X加水溶胀1～5h，然后过滤；所述X为F，Cl，Br，I，SCN或CN；

步骤2：将0.1～0.2份的含不同长烷基链二茂钴六氟磷酸盐溶解在3～5mL的丙酮中得到溶液A；所述含不同长烷基链二茂钴六氟磷酸盐R＝-C_nH_2n+1，n＝4～20；化合物的结构式为：

步骤3：将步骤1的树脂溶于1～3mL去离子水中，将溶液A逐滴加入并室温下搅拌1～2h；

步骤4：对步骤3的产物进行过滤收集滤液，以热水多次洗涤过滤后的树脂，并将得到的滤液与之前的滤液合并；

步骤5：浓缩滤液，冷冻干燥得到二茂钴阳离子基缓蚀剂。

6.一种权利要求1所述二茂钴阳离子基缓蚀剂体系的使用方法，其特征在于：每150mL盐酸中加入二茂钴阳离子基缓蚀剂的量小于25mg/L；所述盐酸的浓度为4mol/L。

7.一种权利要求6所述二茂钴阳离子基缓蚀剂体系的使用方法，其特征在于：将需要缓蚀的金属浸没在二茂钴阳离子基缓蚀剂体系中，放置2～6h，温度为25～55℃。