[发明专利]具有电磁屏蔽性能的碳纳米管泡沫材料及其制备方法与应用有效
申请号: | 201910629222.2 | 申请日: | 2019-07-12 |
公开(公告)号: | CN112210766B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 胡东梅;晁卓;张鹏飞;巩倩;李清文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;H05K9/00 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王茹 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 电磁 屏蔽 性能 纳米 泡沫 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种具有电磁屏蔽性能的碳纳米管泡沫材料的制备方法,其特征在于包括:
提供碳纳米管泡沫;
将所述碳纳米管泡沫置于化学气相沉积设备的反应腔室中;
向所述反应腔室内通入作为载气的惰性气体,以将反应腔室内的空气排出;
采用5~15 ℃/min的升温速率将所述反应腔室内的温度升温至1000~1100℃,向所述反应腔室内通入载气、碳源和还原气体,向所述反应腔室内通入所述还原气体和碳源的速率分别为120~160sccm、60~80sccm,并保温10~60min,之后降温,从而对所述碳纳米管泡沫进行无定形碳的二次沉积,获得具有电磁屏蔽性能的碳纳米管泡沫材料,二次沉积的无定形碳与碳纳米管泡沫的质量比为108:89~768:89;
所述具有电磁屏蔽性能的碳纳米管泡沫材料包含由具有自支撑能力的3D网络结构组成的多孔结构,所述多孔结构的孔隙率为92%~96%,所含孔洞的孔径为10nm~300μm,密度为0.017~0.077 g/cm3,所述碳纳米管泡沫材料的厚度为0.5~5mm,X波段屏蔽效能为50~102 dB。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于包括:采用浮动催化化学气相沉积法制得所述碳纳米管泡沫。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述碳源为气相碳源和/或液相碳源。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述气相碳源的来源为乙烯。
5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述液相碳源的来源为乙醇和/或甲苯。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述还原气体为氢气。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述惰性气体为Ar。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于包括:向所述反应腔室内通入所述载气的速率为200~250sccm。
9.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于:所述碳纳米管泡沫的密度为0.007~0.009 g/cm3,厚度为2~2.5cm。
10.由权利要求1-9中任一项所述制备方法制得的具有电磁屏蔽性能的碳纳米管泡沫材料于制备电磁屏蔽材料中的应用。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的