[发明专利]一种微机电惯性单元规模化生产测试系统及方法

权利要求书

1.一种微机电惯性单元规模化生产测试系统，包括高低温试验箱(1)、双轴转位机构(2)、振动台(3)、振动台控制柜(4)和测试系统控制柜(5)，其特征在于：微机电惯性单元(10)安装在双轴转位机构(2)内，双轴转位机构(2)安装于振动台(3)台面，振动台(3)台面置于高低温试验箱(1)中，通过控制高低温试验箱(1)、双轴转位机构(2)和振动台(3)三者运行参数的组合，实现不同测试条件下微机电惯性单元(10)规模化测试和标定。

2.根据权利要求1所述的一种微机电惯性单元规模化生产测试系统，其特征在于，所述双轴转位机构(2)包括外环(6)、内环(7)、锁紧组件(8)和负载支架(9)等部分，其中内环(7)相对于外环(6)、负载支架(9)相对于内环(7)分别可以0～360゜旋转，实现微机电惯性单元(10)不同方向的标定测试要求,内环(7)可通过锁紧机构(8)在0゜、90゜、180゜、270゜四个位锁紧。

3.根据权利要求1所述的一种微机电惯性单元规模化生产测试系统，其特征在于，所述振动台(3)为垂直方向振动台，可进行20～200Hz随机振动试验。

4.根据权利要求1所述的一种微机电惯性单元规模化生产测试系统，其特征在于，所述高低温试验箱(1)温度控制范围为-55℃～+85℃，温变速率范围为0℃/min～10℃/min。

5.根据权利要求1、2所述的一种微机电惯性单元规模化生产测试系统，其特征在于，所述负载支架(9)可安装一批(32套)微机电惯性单元(10)。

6.根据权利要求1、2所述的一种微机电惯性单元规模化生产测试系统，其特征在于，所述锁紧机构(8)采用端齿盘副作为锁紧副，可实现5角秒以内的锁紧精度。

7.根据权利要求1所述的一种微机电惯性单元规模化生产测试系统，其特征在于，所述微机电惯性单元(10)规模化生产测试系统通过控制高低温试验箱(1)、双轴转位机构(2)和振动台(3)三者运行参数的组合，实现对微机电惯性单元(10)不同方向(X向、Y向、Z向)、不同振动载荷(静止、20～2000Hz随机振动)、不同温度载荷(-55℃～+85℃)条件下，各项性能参数的测试和标定。