[发明专利]沉积装置

说明书

一种沉积装置包括：驱动单元，被配置为能在彼此相交的第一方向和第二方向上移动并能围绕平行于第三方向的旋转轴线旋转，所述第三方向垂直于由所述第一方向和所述第二方向限定的平面；在所述第三方向上连接到所述驱动单元的底端的第一支撑构件；设置在所述第一支撑构件下方并连接到所述第一支撑构件的磁板；设置在所述磁板下方的第二支撑构件；以及设置在所述第一支撑构件上的多个第一连接单元。所述第一连接单元可以在所述第三方向上延伸，可以穿过所述第一支撑构件和所述磁板，并且可以连接到所述第二支撑构件。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年6月29日提交的韩国专利申请No.10-2018-0075545的优先权和权益，为了所有目的，该韩国专利申请通过引用合并于此，如同在本文中完全陈述一样。

技术领域

本发明的示例性实施例大致涉及沉积装置和将沉积装置的磁板对准的方法，并且更具体地涉及配置为容易将磁板与掩模对准的沉积装置和将沉积装置的磁板对准的方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED)显示设备作为下一代平板显示设备一直吸引关注，因为其提供优异的亮度和视角特性，而无需液晶显示(LCD)设备所必需的光源单元。由于不需要光源单元，所以OLED显示设备可以被制造成比LCD设备更轻和更薄。此外，OLED显示设备具有其它技术优点(例如，低功耗、高亮度和高响应速度)。

OLED显示设备包括多个有机发光器件，每个有机发光器件包括阳极、有机发光层和阴极。如果空穴和电子分别从阳极和阴极注入到有机发光层中，则在有机发光层中形成激子。当激子经历向基态的转变时，光从有机发光器件发出。

制造有机发光器件的过程包括将掩模放置在基板上和通过掩模的开口将用于形成有机发光层的有机物质提供在基板上。由于掩模是含有金属的薄结构，所以难以将掩模的平面度维持在高水平。诸如紧固框架和磁板的各种工具被用于在掩模附着到基板时维持掩模的平面形状。

然而，在掩模反复用于处理多个基板的情况下，将掩模与磁板对准可能存在困难。例如，掩模可能与磁板未对准或错位。在这种情况下，难以将基板上的掩模的平面度维持在期望水平。

此背景部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景，并且因此，其可能包括不构成现有技术的信息。

发明内容

本发明的示例性实施例提供配置为容易将磁板与掩模对准的沉积装置和将沉积装置的磁板对准的方法。

本发明构思的另外的特征将在后面的描述中陈述，并且部分地将由该描述而显而易见，或可以通过实践本发明构思而获悉。

本发明一示例性实施例提供一种沉积装置，该沉积装置包括：驱动单元，被配置为能在彼此相交的第一方向和第二方向上移动并能围绕平行于第三方向的旋转轴线旋转，所述第三方向垂直于由所述第一方向和所述第二方向限定的平面；在所述第三方向上连接到所述驱动单元的底端的第一支撑构件；设置在所述第一支撑构件下方并连接到所述第一支撑构件的磁板；设置在所述磁板下方的第二支撑构件；以及设置在所述第一支撑构件上的多个第一连接单元。所述第一连接单元在所述第三方向上延伸，穿过所述第一支撑构件和所述磁板，并且连接到所述第二支撑构件。

本发明另一示例性实施例提供一种将沉积装置的磁板对准的方法，该方法包括：准备驱动单元、连接到所述驱动单元的底端的第一支撑构件、设置在所述第一支撑构件下方并连接到所述第一支撑构件的磁板以及设置在所述磁板下方的第二支撑构件；将掩模提供在所述第二支撑构件下方并将基板提供在所述掩模上；将所述基板与所述掩模对准；使用所述驱动单元移动所述磁板以将所述磁板与所述掩模对准；使所述第二支撑构件在向下的方向上移动以与所述基板接触；以及将所述磁板移动到邻近所述第二支撑构件的位置以允许所述掩模与所述基板接触。所述驱动单元能在彼此相交的第一方向和第二方向上移动并能围绕平行于第三方向的旋转轴线旋转，所述第三方向垂直于由所述第一方向和所述第二方向限定的平面。