[发明专利]一种柔性声表面波器件及制备方法在审
| 申请号： | 201910504148.1 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110277976A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 吴化平;诸骏;刘振东;陈宇丹 | 申请（专利权）人： | 宁海县浙工大科学技术研究院 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 315600 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 衬底 声表面波器件 叉指换能器 反射栅 压电层 薄膜 使用环境 疏水处理 压电薄膜 金薄膜 沉积 贴附 配置 应用 | ||
1.一种柔性声表面波器件，其特征在于，所述器件包括叉指换能器、反射栅、压电层薄膜和柔性衬底，所述压电层薄膜位于柔性衬底上，所述叉指换能器、反射栅位于所述压电层薄膜上。
2.如权利要求1所述的一种柔性声表面波器件，其特征在于，所述压电层薄膜为PVDF高分子材料制成。
3.如权利要求1或2所述的一种柔性声表面波器件，其特征在于，所述柔性衬底为PDMS高分子材料制成。
4.如权利要求1或2所述的一种柔性声表面波器件，其特征在于，所述叉指换能器为金薄膜制成。
5.如权利要求1或2所述的一种柔性声表面波器件，其特征在于，所述反射栅为金薄膜制成。
6.一种如权利要求1所述的柔性声表面波器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)先配置疏水处理溶液，将正庚烷，乙酸乙酯，十八烷基三甲氧基硅氧烷按照1000:50:20的比例配置成溶液，将该溶液倒进容器中浸泡；
(2)将PDMS与交联剂按10:1比例混合均匀后，反复真空除气泡。将进行疏水处理的容器表面旋涂与交联剂混合均匀并且无明显气泡的PDMS；将涂有PDMS的硅模板放在鼓风干燥机中，60℃加热2小时。固化后，将容器与上的PDMS在水中剥离；
(3)用电子天平称取P(VDF-TRFE)粉末0.5克将P(VDF-TRFE)和20毫升DMF放入锥形瓶中，进行磁力搅拌2小时待搅拌完成后，将溶液倒入至平底培养皿、将培养皿放入烘箱，60度鼓风干燥成膜后进行140度退火处理2小时；
(4)将步骤(3)所制备的PVDF薄膜贴附在步骤(2)所制备的柔性衬底上；
(5)在步骤(3)所制备的压电薄膜上沉积金薄膜制备叉指换能器和反射栅。
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