[发明专利]晶棒翻转小车

说明书

本发明提供一种晶棒翻转小车，包括：车身、晶棒固定机构、换向翻转机构及转动机构，所述晶棒固定机构固定在所述车身的顶部，所述晶棒固定机构与所述换向翻转机构固定连接，所述转动机构与所述换向翻转机构传动连接，通过转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒。本发明提供的晶棒翻转小车，操作过程安全简单，翻转过程中晶棒不会直接与地面或其他硬物接触，避免了晶棒因受力不均匀而导致隐裂异常，保证了晶棒的品质，节省了人力，提高了效率。

技术领域

本发明涉及半导体芯片行业和光伏太阳能行业领域，尤其涉及一种晶棒翻转小车。

背景技术

硅晶棒是半导体生产的基础材料，单晶硅是制造硅晶因片的基础材料，多晶硅粗砂是制造单晶硅的基础材料。市场上卖的IC产品，高级的像CPU，低级的像各种小塑封小集成块，都是最终的产品。在半导体制造中，晶圆是通过晶棒切割出来的，晶棒切割前需要将约100KG重的晶棒粘连在工件板上，粘好的晶棒，晶棒在上，工件板在下，而安装到切片机上时，工件板在上，晶棒在下，即需要将粘有工件板上的晶棒进行翻转180度。靠工人手抬翻转，十分费力，而且很不安全。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种晶棒翻转小车，通过机械设计实现晶棒的安全翻转，节省人力，提高效率。

本发明提供一种晶棒翻转小车，包括：车身、晶棒固定机构、换向翻转机构及转动机构，所述换向翻转机构固定在所述车身的顶部，所述换向翻转机构与所述晶棒固定机构固定连接，所述转动机构与所述换向翻转机构传动连接，转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒。

可选的，所述换向翻转机构包括：螺杆轴、盘形旋转齿轮和翻转支撑杆，所述螺杆轴一端与所述转动机构连接，另一端与所述盘形旋转齿轮连接；所述翻转支撑杆一端与所述盘形旋转齿轮连接，另一端与所述晶棒固定机构连接。

可选的，所述转动机构和所述换向翻转机构分别设置在所述车身的顶部相的对的两端。

可选的，所述转动机构与所述车身的顶部的一端之间的距离30～40mm，所述盘形旋转齿轮位于所述车身的顶部的一端的边缘位置。

可选的，所述晶棒固定机构包括：承载板及固定在所述承载板上的夹紧卡爪，所述承载板与所述翻转支撑杆固定连接，所述夹紧卡爪用于将晶棒固定在所述承载板上。

可选的，所述承载板上设置有传动滚轮。

可选的，所述晶棒翻转小车还包括：限位板，所述限位板固定在所述车身的顶部的上表面，并设置在所述翻转支撑杆的下方、所述盘形旋转齿轮的两侧。

可选的，所述晶棒翻转小车还包括：翻转自锁机构。

可选的，所述翻转自锁机构包括：设置在所述盘形旋转齿轮内的插销。

可选的，所述盘形旋转齿轮通过螺栓、螺母固定在所述车身的顶部，所述螺杆轴通过定位孔的轴承连接固定在所述车身的顶部。

可选的，所述转动机构与所述与换向翻转机构通过螺旋齿轮或螺杆齿轮传动连接。

可选的，所述转动机构为一手柄。

综上，本发明提供的一种晶棒翻转小车，通过转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒，操作过程安全简单，翻转过程中晶棒不会直接与地面或其他硬物接触，避免了晶棒因受力不均匀而导致隐裂异常，，保证了晶棒的品质，节省了人力，提高了效率。

附图说明

图1为本发明实施例中晶棒翻转小车的结构框架图

图2A和图2B为本发明实施例中晶棒翻转小车的结构示意图。

附图标记说明：