[发明专利]晶棒翻转小车在审
申请号: | 201910488829.3 | 申请日: | 2019-06-06 |
公开(公告)号: | CN110154253A | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 周智元;闻澜霖;王道平;杨胜友 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 刘翔 |
地址: | 201306 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶棒 翻转 换向翻转 晶棒固定 转动机构 小车 车身 操作过程 机构传动 不均匀 受力 隐裂 硬物 种晶 转动 安全 保证 | ||
1.一种晶棒翻转小车,其特征在于,包括:车身、晶棒固定机构、换向翻转机构及转动机构,所述换向翻转机构固定在所述车身的顶部,所述换向翻转机构与所述晶棒固定机构固定连接,所述转动机构与所述换向翻转机构传动连接,转动所述转动机构带动所述换向翻转机构翻转固定在所述晶棒固定机构上的晶棒。
2.根据权利要求1所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述换向翻转机构包括:螺杆轴、盘形旋转齿轮和翻转支撑杆,所述螺杆轴一端与所述转动机构连接,另一端与所述盘形旋转齿轮连接;所述翻转支撑杆一端与所述盘形旋转齿轮连接,另一端与所述晶棒固定机构连接。
3.根据权利要求2所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述转动机构和所述换向翻转机构分别设置在所述车身的顶部相对的两端。
4.根据权利要求3所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述转动机构与所述车身的顶部的一端之间的距离介于30mm~40mm之间,所述盘形旋转齿轮位于所述车身的顶部的一端的边缘位置。
5.根据权利要求1所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述晶棒固定机构包括:承载板及固定在所述承载板上的夹紧卡爪,所述承载板与所述翻转支撑杆固定连接,所述夹紧卡爪用于将晶棒固定在所述承载板上。
6.根据权利要求5所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述承载板上设置有传动滚轮。
7.根据权利要求2所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述晶棒翻转小车还包括:限位板,所述限位板固定在所述车身的顶部的上表面,并设置在所述翻转支撑杆的下方、所述盘形旋转齿轮的两侧。
8.根据权利要求2所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述晶棒翻转小车还包括:翻转自锁机构。
9.根据权利要求8所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述翻转自锁机构包括:设置在所述盘形旋转齿轮内的插销。
10.根据权利要求2所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述盘形旋转齿轮通过螺栓、螺母固定在所述车身的顶部,所述螺杆轴通过定位孔的轴承连接固定在所述车身的顶部。
11.根据权利要求1所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述转动机构与所述换向翻转机构通过螺旋齿轮或螺杆齿轮传动连接。
12.根据权利要求1所述的晶棒翻转小车,其特征在于,所述转动机构为一手柄。
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