[发明专利]高压直流LED或交流LED及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201910487621.X 申请日: 2019-06-05
公开(公告)号: CN110190086B 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 黎子兰;李成果;张树昕 申请(专利权)人: 广东省半导体产业技术研究院
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L33/00;H01L33/38
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 唐维虎
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 高压 直流 led 交流 及其 制造 方法
【说明书】:

本申请提供了一种高压直流LED或交流LED及其制造方法,涉及LED技术领域。本申请实施例中的高压直流LED或交流LED及其制造方法,器件的发光部分是以成核中心层为生长得到的,通过选区外延技术形成独立的发光单元,发光单元之间是相互分隔。在制备过程中,不使用刻蚀或切割工艺分割发光单元,有效的简化了高压直流LED或交流LED的制作工艺,显著的抑制了刻蚀或切割表面形成的非辐射复合中心。同时,制作过程中,将第一衬底去除,使用第二衬底提供支撑,可以避免第一衬底的吸光,提高高压直流LED或交流LED的出光率。

技术领域

本申请涉及LED技术领域,具体而言,涉及一种高压直流LED或交流LED及其制造方法。

背景技术

发光二极管LED(Light Emitting Diode)是一种常用的发光器件,常规的LED是低电压的直流器件,在使用市电或其他较高电压的电源来驱动LED的时候,需要复杂的驱动电路来把电源的电压转化为LED所需的低压、直流电源,这显著地增加了系统的成本,不利于LED的推广使用。很多厂家开发出了交流(AC)LED器件或高压(HV)LED芯片或模块来解决这个问题。这些交流LED可以直接被交流的市电驱动,如果使用高压LED也可以显著降低从市电到LED电压所需驱动电路的复杂度,极大的降低了LED的使用成本。

LED可以使用硅衬底进行制作,硅衬底制作LED有很多优点,包括但不限于:硅衬底成本低廉,硅衬底可以实现很大的尺寸,而传统的蓝宝石或碳化硅衬底尺寸相对较小;硅材料加工技术很丰富,可以实现复杂的结构;但是硅衬底材料制作LED也存在巨大的挑战,重要的缺陷包括:硅衬底不透明,会吸收位于其上的GaN LED外延层所发出的光,导致出光效率的极大降低。硅衬底与GaN基外延层存在很大的晶格与热失配,容易造成生长时和生长后的外延片中存在很大的内应力,这容易导致外延片的破裂、外延层的龟裂等问题。传统的LED制造方法是在硅衬底上生长均一完整的GaN基LED外延层,由于外延薄膜是完整覆盖于硅衬底表面的,上述内应力所造成的效果十分显著。同时,如果要实现AC/HV等电学结构LED,传统的办法是通过刻蚀等办法制作形成一个个包含P/N电极的LED小岛,再把每个小岛通过特定的互联方式形成AC/HV LED结构。但是对于硅衬底通常具有较好的导电能力,在形成每个小岛间的互联结构时,还需要注意与硅衬底实现电绝缘,增加了工艺成本和难度。

发明内容

有鉴于此,本申请提供了一种高压直流LED及其制造方法。

本申请提供的技术方案如下:

一种高压直流LED或交流LED的制造方法,该方法包括:

提供第一衬底;

在所述第一衬底一侧生长成核中心层102和第一隔离层103;

在所述第一隔离层远离所述成核中心层一侧,以所述成核中心层进行选区生长氮化物材料,形成多个相间隔的电子传输层;

在所述电子传输层表面制作辐射层和空穴层(106);

在所述空穴层的表面以及所述第一隔离层(103)的表面,制作P-型电极层(107),相邻的所述电子传输层对应的P-型电极层相互绝缘;

基于所述P-型电极层制作N-型电极层,并在制作连接材料层后,再键合连接第二衬底,或者,基于所述P-型电极层直接制作所述连接材料层后,键合连接所述第二衬底;

去除所述第一衬底;

形成所述高压直流LED或交流LED的P-电极和N-电极,形成所述高压直流LED或交流LED。

进一步地,在所述空穴层的表面以及所述第一隔离层的表面,制作P-型电极层的步骤包括:

在所述空穴层的表面以及所述第一隔离层的表面覆盖电极材料;

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