[发明专利]一种阵列基板、显示面板和显示装置

权利要求书

1.一种阵列基板，其特征在于，包括依次位于衬底基板一面的缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极、层间介质结构和源漏极层，其中，所述层间介质结构为包括有机层间介质层和无机层间介质层的叠层结构，所述有机层间介质层位于所述无机层间介质层的面向所述衬底基板的一面，所述栅极绝缘层具有开口朝向所述层间介质结构的第一凹槽结构；所述有机层间介质层与所述栅极绝缘层在所述第一凹槽结构以外的区域直接面接触，所述无机层间介质层与所述源漏极层在所述第一凹槽结构以外的区域直接面接触；

所述有机层间介质层的厚度大于所述无机层间介质层的厚度；

所述缓冲层在与所述第一凹槽结构对应的位置具有开口朝向所述栅极绝缘层的第二凹槽结构，所述有机层间介质层填充所述第一凹槽结构并填充所述第二凹槽结构，与所述衬底基板接触，所述衬底基板的材料为聚酰亚胺。

2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一凹槽结构在所述衬底基板的正投影与所述有源层和所述栅极在所述衬底基板的正投影互不交叠。

3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一凹槽结构贯穿所述栅极绝缘层。

4.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一凹槽结构呈周期性分布，或者，所述第一凹槽结构呈非周期性分布。

5.如权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述第一凹槽结构在所述衬底基板的正投影为正方形、长方形、或圆形。

6.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的阵列基板。

7.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求6所述的显示面板。