[发明专利]压电位移放大装置

权利要求书

1.一种被配置为生成触觉效果的致动器系统，所述致动器系统包括：

被配置为存储不可压缩流体的腔体，所述腔体设置在第一基板内；

压电致动器，所述压电致动器设置在第二基板内；以及

隔膜，所述隔膜设置在所述第一基板的所述腔体和所述第二基板的所述压电致动器之间。

2.根据权利要求1所述的致动器系统，还包括硅树脂垫圈层，所述硅树脂垫圈层被配置为密封所述第一基板和所述隔膜之间的界面。

3.根据权利要求1所述的致动器系统，其中所述不可压缩流体是油。

4.根据权利要求1所述的致动器系统，还包括：

设置在所述腔体的开口表面处的活塞。

5.根据权利要求1所述的致动器系统，其中所述腔体的开口表面的第一直径小于所述腔体的闭合表面的第二直径。

6.根据权利要求1所述的致动器系统，其中所述压电致动器设置在所述第二基板的致动器容器内，所述致动器容器具有比所述压电致动器的高度小的深度。

7.根据权利要求1所述的致动器系统，其中当所述压电致动器被致动时，施加的力引起所述隔膜变形进入所述腔体中。

8.根据权利要求7所述的致动器系统，其中所述变形引起所述不可压缩流体的移动，所述移动被配置为驱动设置在所述腔体的开口表面处的活塞。

9.根据权利要求8所述的致动器系统，其中所述活塞被配置为驱动移动质块，所述移动质块耦合到杠杆或其它机械组件。

10.根据权利要求8所述的致动器系统，其中所述活塞被配置为驱动电子设备的用户输入元件。

11.根据权利要求1所述的致动器系统，其中所述压电致动器包括设置在铙钹结构之间的压电陶瓷材料。

12.根据权利要求1所述的致动器系统，其中所述隔膜的刚度值是根据所述压电致动器的共振频率来确定的。

13.一种用于提供致动器系统的方法，所述致动器系统被配置为生成触觉效果，所述方法包括：

在第一基板内提供腔体，所述腔体被配置为存储不可压缩流体；

提供设置在第二基板内的压电致动器；以及

提供设置在所述第一基板的所述腔体和所述第二基板的所述压电致动器之间的隔膜。

14.根据权利要求13所述的用于提供致动器系统的方法，还包括：

提供硅树脂垫圈层，所述硅树脂垫圈层被配置为密封所述第一基板和所述隔膜之间的界面。

15.根据权利要求13所述的用于提供致动器系统的方法，其中所述不可压缩流体是油。

16.根据权利要求13所述的用于提供致动器系统的方法，还包括设置在所述腔体的开口表面处的活塞。

17.根据权利要求13所述的用于提供致动器系统的方法，其中所述腔体的开口表面的第一直径小于所述腔体的闭合表面的第二直径。

18.根据权利要求13所述的用于提供致动器系统的方法，其中所述压电致动器设置在所述第二基板的致动器容器内，所述致动器容器具有比所述压电致动器的高度小的深度。

19.根据权利要求13所述的用于提供致动器系统的方法，其中当所述压电致动器被致动时，施加的力引起所述隔膜变形进入所述腔体中。

20.根据权利要求19所述的用于提供致动器系统的方法，其中所述变形引起所述不可压缩流体的移动，所述移动被配置为驱动设置在所述腔体的开口表面处的活塞。