[发明专利]一种提高离子注入剂量控制精度的方法和系统

权利要求书

1.一种提高离子注入剂量控制精度的方法，其特征在于，包括：

获取束流束斑的径向分布M(y)；

根据所述束斑的径向分布M(y)，计算束斑质心到靶盘中心的距离，即束斑的质心值R；

根据公式计算靶盘径向扫描速度V，其中，K＝1/(2πqn)，q表示单位电荷量，q＝1.6×10^－19库仑，n表示电荷量，I表示总电流，等于靶盘的靶电流和束斑通过靶盘上束斑采集孔的孔电流之和，R表示束斑的质心值，φ表示预设离子注入剂量；

驱动所述靶盘以所述径向扫描速度V做径向扫描，同时驱动靶盘旋转做圆环扫描。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取束流束斑的径向分布M(y)，具体包括：

获取所述靶盘的靶电流和束斑通过靶盘上束斑采集孔的孔电流；

根据所述靶电流和孔电流获取束流束斑的径向分布M(y)。

3.一种提高离子注入剂量控制精度的系统，其特征在于，包括：

束斑采集单元，用于获取束流束斑的径向分布M(y)；

质心计算单元，用于根据所述束斑的径向分布M(y)，计算束斑质心到靶盘中心的距离，即束斑的质心值R；

扫描速度计算单元，用于根据公式计算靶盘径向扫描速度V，其中，K＝1/(2πqn)，q表示单位电荷量，q＝1.6×10^－19库仑，n表示电荷量，I表示总电流，等于靶盘的靶电流和束斑通过靶盘上束斑采集孔的孔电流之和，R表示束斑的质心值，φ表示预设离子注入剂量；

径向扫描控制器，用于控制径向扫描机构驱动所述靶盘以所述径向扫描速度V做径向扫描；

旋转电机，用于驱动所述靶盘旋转做圆环扫描。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

靶电流采集单元，用于获取所述靶盘的靶电流；

孔电流采集单元，用于获取所述束斑通过靶盘上束斑采集孔的孔电流；

所述束斑采集单元根据所述靶电流和孔电流获取束斑的径向分布M(y)。

5.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述靶盘上设置有多个硅片，多个硅片在靶盘上呈圆环布置，所述圆环与靶盘旋转中心共圆心。

6.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述束斑采集单元是法拉第杯。