[发明专利]检查器具、检查单元以及检测装置

权利要求书

1.一种检查器具，其特征在于，具备：

壳体，其在内部具有至少三个收纳部；

第一电源端子、信号端子以及第二电源端子，其以延伸方向的两端部露出于所述壳体的外部的状态分别收纳于所述收纳部，

所述第一电源端子、所述信号端子以及所述第二电源端子分别由在所述延伸方向上可伸缩的至少一个板状的探针构成，

构成所述第一电源端子、所述信号端子以及所述第二电源端子各自的所述探针以其板面彼此相对的方式在板厚方向上串联排列配置，

所述信号端子在所述板厚方向上配置在所述第一电源端子与所述第二电源端子之间，

所述第一电源端子及所述第二电源端子分别由以多个所述探针相互接触的状态在所述板厚方向上层叠的探针层叠体构成，

所述信号端子由在所述板厚方向上隔开间隔而相互独立地配置的多个所述探针构成。

2.如权利要求1所述的检查器具，其特征在于，

构成所述第一电源端子、所述信号端子以及所述第二电源端子各自的所述探针具有相同的形状。

3.如权利要求1或2所述的检查器具，其特征在于，

在与所述延伸方向交叉的所述壳体的连接面上具有端子连接部，该端子连接部以沿所述延伸方向可摆动的状态支承于所述壳体，且可与检查对象物或检查装置连接，

所述端子连接部具有沿所述延伸方向贯通且可同时收纳所述第一电源端子、所述信号端子及所述第二电源端子的连接孔。

4.如权利要求3所述的检查器具，其特征在于，

所述端子连接部设置在所述延伸方向上的与所述连接面相对的面的相反侧的外表面且所述连接孔的周围，并具有对所述检查对象物或所述检查装置相对于所述端子连接部的位置进行定位的定位用凹部。

5.如权利要求3所述的检查器具，其特征在于，

所述连接孔具有：

第一收纳区域，其可收纳与所述第一电源端子、所述信号端子以及所述第二电源端子可同时接触的所述检查对象物或者所述检查装置的连接器；

第二收纳区域，其从所述延伸方向观察，配置在相对于所述第一收纳区域的与所述第一电源端子、所述信号端子以及所述第二电源端子的排列方向交叉的方向的至少一方，且可配置所述第一电源端子、所述信号端子及所述第二电源端子的一部分。

6.如权利要求5所述的检查器具，其特征在于，

所述连接孔具有两个绝缘壁，该两个绝缘壁分别设置在所述第二收纳区域的所述第一电源端子与所述信号端子之间、以及所述信号端子与所述第二电源端子之间，且从所述延伸方向观察，该两个绝缘壁分别沿与所述排列方向交叉的方向延伸。

7.一种检查单元，其特征在于，

具备至少一个权利要求1～6中任一项所述的检查器具。

8.一种检查装置，其特征在于，

具备至少一个权利要求7所述的检查单元。