[发明专利]石墨基座

权利要求书

1.一种石墨基座，所述石墨基座(100)为圆盘形结构，所述石墨基座(100)的第一圆形端面(110)设有多个用于容纳外延片的圆形槽(10)，所述第一圆形端面(110)上的所有所述圆形槽(10)的圆心位于至少两个同心圆(A)上，其特征在于，所述石墨基座(100)的第一圆形端面(110)还设有至少一个第一环形槽(20)，所述石墨基座(100)的第二圆形端面(120)设有至少一个第二环形槽(30)；所述至少两个同心圆(A)的圆心、所述至少一个第一环形槽(20)的圆心与所述第一圆形端面(110)的圆心重合，所述至少一个第二环形槽(30)的圆心与所述第二圆形端面(120)的圆心重合，所述至少一个第二环形槽(30)的总体积大于所述至少一个第一环形槽(20)的总体积。

2.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，每个所述圆形槽(10)在所述第二圆形端面(120)上的投影与各个所述第二环形槽(30)在所述第二圆形端面(120)上的投影不重合。

3.根据权利要求2所述的石墨基座，其特征在于，所述至少一个第二环形槽(30)与所述至少一个第一环形槽(20)一一对应，每个所述第一环形槽(20)在所述第二圆形端面(120)上的投影位于对应的所述第二环形槽(30)在所述第二圆形端面(120)上的投影内。

4.根据权利要求3所述的石墨基座，其特征在于，所述第二环形槽(30)的宽度与所述第一环形槽(20)的宽度相同。

5.根据权利要求4所述的石墨基座，其特征在于，所述第一环形槽(20)的边缘与所述圆形槽(10)的边缘之间的最小距离为3mm～10mm。

6.根据权利要求3所述的石墨基座，其特征在于，所述第二环形槽(30)的宽度小于对应的所述第一环形槽(20)的宽度的3倍。

7.根据权利要求6所述的石墨基座，其特征在于，所述第二环形槽(30)的宽度等于对应的所述第一环形槽(20)相邻的两个所述同心圆(A)上所述圆形槽(10)的边缘之间的最小距离。

8.根据权利要求1～7任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述至少两个同心圆(A)中，相邻两个所述同心圆(A)之间均设有一个所述第一环形槽(20)。

9.根据权利要求1～7任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述第二环形槽(30)的宽度沿从所述第二圆形端面(120)的圆心向所述第二圆形端面(120)的边缘的方向逐渐减小。

10.根据权利要求1～7任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述第二环形槽(30)的深度沿从所述第二圆形端面(120)的圆心向所述第二圆形端面(120)的边缘的方向逐渐减小。