[发明专利]槽体自动开关盖机构及其工作方式

说明书

本发明公开了槽体自动开关盖机构及其工作方式，包括第一侧板及其平行设置的第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间对称转动连接有两个第一盖板，所述第一侧板背离第二侧板的外侧面对应两个第一盖板转轴所在位置处对称设置的两个连接架，两个所述连接架均与对应的气缸保护架焊接，所述气缸保护架的内部固定有旋转气缸。本发明中，通过旋转气缸带动第一盖板及其转动连接的第二盖板实现对槽体端口的封挡，开启和关闭占据的空间小，便于工人操作；过橡胶带顶面的卡条与卡槽卡合，实现第一盖板和第二盖板之间的密封，通过第二橡胶条和第三橡胶条的贴靠，实现第一盖板和第二盖板底面与档条顶面之间的密封，保证槽体端口的密封性。

技术领域

本发明涉及半导体湿式制程设备配件技术领域，具体涉及槽体自动开关盖机构及其工作方式。

背景技术

当下各湿式制程设备开关盖方式尚不完善，且由于所允许安装空间狭小、端盖开启角度和紧密性要求等因素，故许多开关盖方式尚不能满足所需。由于传统开关盖机构大部分运用人工、拉伸气缸和连杆来实现端盖的开关运动，受到重力、拉伸气缸和连杆机构本身的限制性，不仅给工人操作带来不便，且使端盖开启角度和紧密性受到极大约束。

发明内容

为了克服上述的技术问题，本发明的目的在于提供槽体自动开关盖机构及其工作方式，通过旋转气缸带动第一盖板及其转动连接的第二盖板实现对槽体端口的封挡，开启和关闭占据的空间小，便于工人操作；过橡胶带顶面的卡条与卡槽卡合，实现第一盖板和第二盖板之间的密封，通过第二橡胶条和第三橡胶条的贴靠，实现第一盖板和第二盖板底面与档条顶面之间的密封，保证槽体端口的密封性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

槽体自动开关盖机构，包括第一侧板及其平行设置的第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间对称转动连接有两个第一盖板，所述第一侧板背离第二侧板的外侧面对应两个第一盖板转轴所在位置处对称设置的两个连接架，两个所述连接架均与对应的气缸保护架焊接，所述气缸保护架的内部固定有旋转气缸，所述旋转气缸通过旋转轴与对应位置的第一盖板传动连接；

所述第一侧板和第二侧板二者的相对面位于第一盖板转轴处的下部焊接有延伸至第一侧板和第二侧板两侧的档条，所述第一侧板和第二侧板的相对面位于档条的上部均对称开设有两个弧形引导槽，所述第一盖板远离转轴的端部底面通过铰链与第二盖板转动连接，所述第二盖板由固定盖板以及端部滑动连接的活动盖板组成，所述固定盖板的两外侧壁焊接有延伸至弧形引导槽内的轮轴，所述轮轴的外壁转动套接有与弧形引导槽内壁贴靠的滚轮，所述固定盖板相对活动盖板的侧面等距开设有四个滑杆槽，所述活动盖板的截面为L型，所述活动盖板相对四个滑杆槽的端面对应四个滑杆槽的所在位置焊接有插杆，所述插杆的外壁套接有连接活动盖板和固定盖板的拉伸弹簧，所述活动盖板相对四个滑杆槽的端面内部等距嵌入安装有三个磁铁片，所述活动盖板背离三个磁铁片的端面粘附固定有第一橡胶条；

所述第一盖板和第二盖板的底面之间连接有橡胶带，所述第一盖板和第二盖板的底面对应橡胶带侧边位置开设有卡槽，所述橡胶带的顶面对应卡槽所在位置处设置有卡条。

进一步在于：所述档条的表面粘附固定有第二橡胶条，所述第一盖板和第二盖板的底面对应第二橡胶条所在位置处粘附固定有第三橡胶条。

进一步在于：两个所述活动盖板相对面内嵌入安装的磁铁片相吸，并且两个活动盖板相对面粘附的两个第一橡胶条表面开设有相互卡合的沟槽。

进一步在于：所述弧形引导槽的内宽大于滚轮的外径。

进一步在于：所述活动盖板的底宽大于活动盖板的位移距离。

进一步在于：所述第一盖板的旋转角度为0-90°。

进一步在于：所述橡胶带的宽度小于第二盖板上橡胶带连接处与第一盖板铰接处之间距离与第一盖板上橡胶带连接处与第二盖板铰接处之间距离之和3-5mm。