[发明专利]一种具有自动校准功能的便于调节的芯片拾取装置

说明书

本发明涉及一种具有自动校准功能的便于调节的芯片拾取装置，包括安装板、抽气室、抽气管、调整机构、调整板和若干拾取机构，抽气室内设有抽气机构，拾取机构包括横杆、支杆、滑块、拾取组件和气管，调整机构包括调整管、调整杆、密封板、连接管和调整组件，抽气机构包括第一电机、驱动块、转轴、转盘、抵靠组件、气缸、调节块、旋翼和两个轴承，该具有自动校准功能的便于调节的芯片拾取装置通过调整机构带动拾取机构中的滑块沿着横杆滑动，调节拾取组件与抽气管的距离，不仅如此，抽气机构更加调整机构的操作调整旋翼的转速，调节吸附力的大小，便于设备根据芯片的尺寸重量控制各个拾取组件的吸力和位置，安全拾取芯片，提高了设备的实用性。

技术领域

本发明涉及芯片拾取设备领域，特别涉及一种具有自动校准功能的便于调节的芯片拾取装置。

背景技术

集成电路(Integrated Circuit，IC)，也称微芯片、晶片或芯片，在电子学中是一种把电路(包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面。

随着半导体行业的发展，集成电路芯片的厚度越做越薄，芯片的尺寸也越来越多样化，而在芯片的生产加工过程中，常常需要进行芯片拾取的操作。现有的芯片拾取仅仅依靠单个吸盘进行吸附，采用这种方式拾取时，无法精确控制吸盘吸力，吸力过大，容易挤压损坏芯片，吸力过小，又无法拾取芯片，部分设备增加了多个吸盘，共同作用进行拾取，但是这些设备在操作时往往需要调整吸盘的位置，使得各个吸盘位于芯片的正上方，不仅如此，吸盘之间间距固定不变，吸盘的吸力无法根据芯片的尺寸进行调整，这些都降低了现有的芯片拾取装置的实用性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有自动校准功能的便于调节的芯片拾取装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有自动校准功能的便于调节的芯片拾取装置，包括安装板、抽气室、处理器、抽气管、调整机构、调整板和若干拾取机构，所述抽气室固定在安装板的下方，所述抽气室的顶部设有若干出气口，所述处理器固定在抽气室上，所述处理器内设有PLC，所述抽气管固定在抽气室的下方，所述调整板设置在抽气管上，所述调整板套设在抽气管上，所述拾取机构周向均匀分布在调整板的下方，所述抽气室内设有抽气机构，所述调整机构与抽气机构连接，所述调整机构与调整板传动连接；

所述拾取机构包括横杆、支杆、滑块、拾取组件和气管，所述横杆固定在抽气管上，所述滑块套设在横杆上，所述拾取组件设置在滑块的下方，所述拾取组件通过气管与抽气管连接，所述滑块通过支杆与调整板铰接；

所述调整机构包括调整管、调整杆、密封板、连接管和调整组件，所述调整管固定在抽气管上，所述调整组件和密封板均位于调整管的内部，所述密封板的外周与调整管的内壁密封连接，所述调整组件与密封板传动连接，所述密封板通过调整杆与调整板固定连接；

所述抽气机构包括第一电机、驱动块、转轴、转盘、抵靠组件、气缸、调节块、旋翼和两个轴承，所述第一电机和轴承均固定在抽气室内，所述第一电机与PLC电连接，所述第一电机与驱动块传动连接，所述驱动块的形状为圆锥柱形，所述转盘抵靠在驱动块的侧面上，所述转盘套设在转轴上，所述转盘的两端分别设置在两个轴承内，所述调节块的形状为U形，所述转盘的远离驱动块的一侧设置在调节块的U形开口内，所述气缸的缸体通过抵靠组件与抽气室的内壁连接，所述气缸的气杆的底端与调节块固定连接，所述气缸的缸体通过连接管与调整管连通，所述旋翼设置在转轴上。

作为优选，为了实现转盘与转轴的同步转动，同时方便转盘沿着转轴滑动，所述转轴的外周设有若干侧板，所述转盘的内侧设有若干凹口，所述凹口的数量与侧板的数量相等，所述凹口与侧板一一对应，所述侧板设置在凹口内。

作为优选，为了减小转盘转动受到的摩擦力，所述调节块的内壁上均设有缺口，所述缺口内设有滚珠，所述滚珠与缺口相匹配，所述滚珠的球心位于缺口内，所述滚珠抵靠在转盘上。