[发明专利]一种MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：第一框架(1a)、第二框架(1b)、第三框架(2a)、第四框架(2b)、第一梁(3a)、第二梁(3b)、第三梁(3c)、第四梁(3d)、第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d)、第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)、第十三梁(5a)、第十四梁(5b)、第一梳齿电极(6a)、第二梳齿电极(6b)、第三梳齿电极(6c)、第四梳齿电极(7a)、第五梳齿电极(7b)、第六梳齿电极(7c)、第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)以及第一锚点(10a)、第二锚点(10b)、第三锚点(10c)、第四锚点(10d)；第一梁(3a)和第三梁(3c)的一端均与第一框架(1a)的左侧面连接，第一梁(3a)的另一端和第三梁(3c)的另一端分别与第一锚点(10a)和第三锚点(10c)连接；第二梁(3b)和第四梁(3d)一端均与第二框架(1b)的右侧面连接，第二梁(3b)的另一端和第四梁(3d)一端的另一端分别与第二锚点(10b)和第四锚点(10d)连接；第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d),将第一框架(1a)与第三框架(2a)连接,第三框架(2a)位于第一框架(1a)内；第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)将第二框架(1b)与第四框架(2b)连接，第四框架(2b)位于第二框架(1b)内；第十三梁(5a)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接，第十四梁(5b)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接；第一框架(1a)与第二框架(1b)、第三框架(2a)与第四框架(2b)关于Y轴对称；第一梳齿电极(6a)和第四梳齿电极(7a)均与第一框架(1a)的左侧面连接；第二梳齿电极(6b)和第五梳齿电极(7b)均与第二框架(1b)的右侧面连接；第二梳齿电极(6b)与第一梳齿电极(6a)关于Y轴对称，第五梳齿电极(7b)与第四梳齿电极(7a)关于Y轴对称；第三梳齿电极(6c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接，第六梳齿电极(7c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接；第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)位于第三框架(2a)内，第七梳齿电极(8a)的两侧、第八梳齿电极(8b)的两侧、第十一梳齿电极(9a)的两侧、第十二梳齿电极(9b)的两侧分别与第三框架(2a)的左右内壁连接；第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)位于第四框架(2b)内，第九梳齿电极(8c)的左右两侧、第十梳齿电极(8d)的左右两侧、第十三梳齿电极(9c)的左右两侧、第十四梳齿电极(9d)的左右两侧分别与第四框架(2b)的左右内壁连接；第七梳齿电极(8a)与第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)与第十二梳齿电极(9b)、第九梳齿电极(8c)与第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)与第十四梳齿电极(9d)均关于X轴对称；

其中，第七梳齿电极(8a)与第九梳齿电极(8c)的锚点电气连通、第八梳齿电极(8b)与第十梳齿电极(8d)的锚点电气连通、第十一梳齿电极(9a)与第十三梳齿电极(9c)的锚点电气连通以及第十二梳齿电极(9b)与第十四梳齿电极(9d)的锚点电气连通；

以及，第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)锚点上的电压相同。