[发明专利]一种掩膜图案的形成方法

权利要求书

1.一种掩膜图案的形成方法，其特征在于，所述方法包括：

根据原始图案数据中相邻的原始多边形的节距确定待旋转多边形，所述原始多边形用于限定通孔图案；

旋转所述原始图案数据中的所述待旋转多边形，获得旋转图案数据，所述旋转图案数据包括多个旋转后的多边形；

对所述旋转图案数据进行光学近似效应修正，以获得掩膜图案数据。

2.根据权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述根据原始图案数据中相邻的原始多边形的节距确定待旋转多边形，包括：

将节距小于预定尺寸的原始多边形确定为待旋转多边形，所述预定尺寸根据所述掩膜图案的衍射规则和所述通孔的大小确定。

3.根据权利要求2所述的形成方法，其特征在于，所述预定尺寸为120nm。

4.根据权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述旋转所述原始图案数据中的所述待旋转多边形，包括：

根据相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角确定旋转角度；

用具有旋转角度的多边形替换待旋转多边形，或

根据旋转角度旋转待旋转多边形。

5.根据权利要求4所述的形成方法，其特征在于，所述根据相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角确定旋转角度，包括：

将相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角为15°～75°的原始多边形的旋转角度确定为25°～65°。

6.根据权利要求5所述的形成方法，其特征在于，所述根据相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角确定旋转角度，包括：

将相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角为15°～75°的原始多边形的旋转角度确定为45°。

7.根据权利要求4所述的形成方法，其特征在于，所述根据相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角确定旋转角度，包括：

将相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角为15°～30°的原始多边形的旋转角度确定为30°；

将相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角为30°～60°的原始多边形的旋转角度确定为45°；

将相邻的原始多边形的中心点连线和坐标轴之间的夹角为60°～75°的原始多边形的旋转角度确定为60°。

8.根据权利要求4所述的形成方法，其特征在于，所述旋转角度的大小和相邻的原始多边形的中心点连线和横坐标轴之间的夹角的大小正相关。

9.根据权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述原始多边形为矩形。

10.根据权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述对所述旋转图案数据进行光学近似修正，包括：

通过实际曝光或仿真的方法获取掩膜图案数据。

11.根据权利要求1所述的形成方法，其特征在于，所述相邻的原始多边形的节距为相邻的原始多边形的中心点连线的长度。