[发明专利]LPCVD炉管法兰温控装置及LPCVD炉设备

权利要求书

1.一种LPCVD炉管法兰温控装置，其特征在于，包括温度传感器、温度控制器、第一继电器、固态继电器、电磁阀和冷却流体管路，所述温度传感器用于检测所述法兰的温度，所述温度控制器的输入端连接所述温度传感器，以获取温度传感数据，所述温度控制器的输出端经由第一继电器的第一触头连接至所述固态继电器的输入端，其中所述第一触头为常开触头，所述固态继电器的输出端连接至布置于所述冷却流体管路中的所述电磁阀，所述电磁阀为常开电磁阀；

其中，所述温度控制器配置为，根据所述温度传感数据控制所述固态继电器的闭合和断开；

所述温度控制器配置为，当所述温度传感数据显示的温度低于预设的第一低温值时，控制所述固态继电器闭合，从而使得所述电磁阀关闭或者关小，当所述温度传感数据显示的温度不低于预设的第一低温值时，控制所述固态继电器断开，从而所述电磁阀保持打开状态；

所述LPCVD炉管法兰温控装置还包括低压稳压电源，所述低压稳压电源为所述温度控制器供电；

所述LPCVD炉管法兰温控装置还包括第二继电器，所述第二继电器连接至所述低压稳压电源，并用于在检测到电源故障时向所述LPCVD炉的控制计算机发出报警。

2.如权利要求1所述的LPCVD炉管法兰温控装置，其特征在于，所述LPCVD炉管法兰温控装置还包括漏电保护开关，所述低压稳压电源经由所述漏电保护开关接入交流电源。

3.如权利要求1所述的LPCVD炉管法兰温控装置，其特征在于，所述温度控制器还配置为，当所述温度传感数据显示的温度高于预设的第一高温值时，经由第一继电器的第二触头，开启报警单元以发出报警。

4.如权利要求1所述的LPCVD炉管法兰温控装置，其特征在于，所述冷却流体管路为冷却水管路。

5.如权利要求1所述的LPCVD炉管法兰温控装置，其特征在于，所述温度传感器为测温电偶。

6.一种LPCVD炉设备，其特征在于，包括如权利要求1-5中任意一项所述的LPCVD炉管法兰温控装置。