[发明专利]一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法在审
| 申请号： | 201910231627.0 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109750272A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 董国材;刘玉菲;张金龙 | 申请（专利权）人： | 常州碳维纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/455 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 石墨烯薄膜 沉积装置 抽气装置 进样室 主腔室 析出 薄膜材料 本底真空 供气装置 加热方式 加热装置 降温功能 降温过程 快速降温 生长过程 有效减少 杂质气体 插板阀 传样杆 分子泵 恒温区 机械泵 均匀性 石墨烯 碳原子 样品托 衬底 腔壁 不锈钢 节能 移动 | ||
1.一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，其特征在于，所述装置包括主腔室103、进样室106、加热装置104、传样杆108、供气装置105、样品托107、插板阀102及抽气装置101，所述样品托107位于传样杆108顶端，两者之间活动连接，传样杆与进样室连接，进样室与主腔室连接，主腔室与插板阀连接，插板阀与抽气装置连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，其特征在于：所述的主腔室103带有冷凝水层，可通过循环冷凝水的方式降低腔壁温度。
3.根据权利要求1所述的一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，其特征在于：所述的加热装置置于主腔室103中，采用电阻加热的方式。
4.根据权利要求1所述的一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，其特征在于：所述的供气装置包括减压阀、微漏阀、真空计、气源，其中气源可供氮气、氢气、氩气、甲烷和乙烯等气体，减压阀连接导气管，导气管连接微漏阀，通过微漏阀的精确调节，气体进入主腔室103。
5.根据权利要求1所述的一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，其特征在于：所述的抽气装置包括机械泵、分子泵，分子泵通过CF接口与插板阀连接，另一端使用KF接口通过波纹管与机械泵连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于制备石墨烯薄膜的沉积装置及方法，其特征在于：所述的插板阀102可以为手动、气动、或电动插板阀，两面分别通过CF接口与主腔室103和抽气装置101相连，实现隔绝与串通两个腔体的功能。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
