[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪

说明书

本申请提供物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪，其能够降低或防止在制造时或者因不同材料的热膨胀系数差而产生的应力应变对物理量检测信号产生不良影响。一种物理量传感器，具有基部、至少两个臂部、可动部、缩窄部以及物理量检测元件，在俯视观察下，固定区域配置于由第一直线划分而成的第一区域和第二区域，第一直线沿着横跨缩窄部的方向通过物理量检测元件的中心，并且，在俯视观察下，在由第一直线和第二直线划分而成的四个区域中，位于比第二直线更靠基部侧的第一区域的第三区域以及位于比第二直线更靠基部侧的第二区域的第四区域中的至少一方中没有配置固定区域，第二直线在缩窄部上通过且与第一直线正交。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、物理量传感器装置、使用了物理量传感器装置的倾斜仪、惯性计测装置、结构物监视装置及移动体等。

背景技术

专利文献1中记载了一种加速度检测装置，其具备由硅半导体晶片构成的底座(基座)和上部电极、以及介于底座与上部电极之间并具有能够以支点部为中心弯曲的自由端部的悬臂。

专利文献1：日本特开2000-65856号公报

然而，在专利文献1记载的加速度检测装置中，存在如下问题：由于加速度检测部的外周全部被固定，所以当将加速度检测装置安装在了印刷基板上时产生的由印刷基板与加速度检测装置的不同材料之间引起的热膨胀系数差所导致的应力应变会经由装置的容器传递到与容器刚性固定的物理量检测元件。

发明内容

本发明是为了解决上述技术问题的至少一部分而做出的，可以作为以下的方面或应用例而实现。

(1)本发明的一方面涉及一种物理量传感器，其包括：基部；可动部，与所述基部连接；第一臂部，连结于所述基部；第二臂部，连结于所述基部；以及物理量检测元件，安装于所述基部和所述可动部，检测由在连接所述基部与所述可动部的方向上产生的应力引起的物理量，所述第一臂部配置于与连接所述基部和所述可动部的第一方向正交的第二方向上的一侧的第一区域，并且在相比基部侧更靠可动部侧设置有固定区域，所述第二臂部配置于所述第二方向上的另一侧的第二区域，并且在所述可动部侧和所述基部侧中的至少任一方的区域中设置有固定区域，在所述第一区域的位于所述基部侧的第三区域和所述第二区域的位于所述基部侧的第四区域中的至少一方中未配置有固定区域。

(2)在本发明的一方面(1)中，其特征在于，所述第二臂部的所述固定区域配置在所述基部侧。

(3)在本发明的一方面(1)中，其特征在于，所述第二臂部的所述固定区域配置在所述可动部侧。

(4)在本发明的一方面(3)中，其特征在于，包括连结于所述基部的第三臂部，所述第三臂部在所述第三区域和所述第四区域中的任一方中设有固定区域。

(5)在本发明的一方面(1)中，其特征在于，包括与所述基部连结的第三臂部，所述第三臂部在所述第一区域至所述第四区域中的未配置所述固定区域的至少一个区域中，在与安装有所述物理量检测元件的面相反一侧的面设有突起。

(6)在本发明的一方面(1)中，其特征在于，在所述固定区域设有填充粘接剂的槽。

(7)在本发明的一方面(1)中，其特征在于，所述基部与所述可动部通过缩窄部而连接。

(8)一种物理量传感器装置，其特征在于，在本发明的一方面(1)中包括安装有所述物理量传感器的基台，所述固定区域安装于所述基台。

(9)在本发明的一方面(8)中，其特征在于，包括电路基板，并且包括三个所述物理量传感器，三个所述物理量传感器以各自的检测轴与正交的三轴各自一致的方式安装于所述电路基板。

(10)在本发明的另一方面(8)或(9)中，其特征在于，所述物理量是加速度。