[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置以及倾斜仪

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：

基部；

可动部，与所述基部连接；

第一臂部，连结于所述基部；

第二臂部，连结于所述基部；以及

物理量检测元件，安装于所述基部和所述可动部，检测由在连接所述基部与所述可动部的方向上产生的应力引起的物理量，

所述第一臂部配置于与连接所述基部和所述可动部的第一方向正交的第二方向上的一侧的第一区域，并且在所述第一区域的相比基部侧更靠可动部侧设置有固定区域，

所述第二臂部配置于所述第二方向上的另一侧的第二区域，并且在所述第二区域的所述可动部侧和所述基部侧中的至少任一方的区域中设置有固定区域，

在所述第一区域的位于所述基部侧的第三区域和所述第二区域的位于所述基部侧的第四区域中的至少一方中未配置有固定区域。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第二臂部的所述固定区域配置在所述基部侧。

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第二臂部的所述固定区域配置在所述可动部侧。

4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器包括连结于所述基部的第三臂部，

所述第三臂部在所述第三区域和所述第四区域中的任一方中设有固定区域。

5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器包括与所述基部连结的第三臂部，

所述第三臂部在所述第一区域至所述第四区域中的未配置所述固定区域的至少一个区域中，在与安装有所述物理量检测元件的面相反一侧的面设有突起。

6.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述固定区域设有填充粘接剂的槽。

7.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述基部与所述可动部通过缩窄部而连接。

8.一种物理量传感器装置，其特征在于，包括：

根据权利要求1所述的物理量传感器；以及

安装有所述物理量传感器的基台，

所述固定区域安装于所述基台。

9.根据权利要求8所述的物理量传感器装置，其特征在于，

所述物理量传感器装置包括电路基板，并且包括三个所述物理量传感器，

三个所述物理量传感器以各自的检测轴与正交的三轴各自一致的方式安装于所述电路基板。

10.根据权利要求8或9所述的物理量传感器装置，其特征在于，

所述物理量是加速度。

11.一种倾斜仪，其特征在于，包括：

根据权利要求10所述的物理量传感器装置；以及

计算部，根据来自安装于结构体的所述物理量传感器装置的输出信号，计算所述结构体的倾斜角度。

12.一种结构物监视装置，其特征在于，包括：

根据权利要求10所述的物理量传感器装置；

接收部，接收来自安装于结构物的所述物理量传感器装置的检测信号；以及

计算部，根据从所述接收部输出的信号，计算所述结构物的倾斜角度。