[发明专利]一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺在审

专利信息
申请号: 201910161805.7 申请日: 2019-03-04
公开(公告)号: CN109881221A 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 叶颖辉 申请(专利权)人: 深圳市汇美新科技有限公司
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38;C25D5/10;C25D7/00;C25D5/50;C25D5/56;H01B5/14
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 叶树明
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 超薄薄膜 断裂延伸率 烘烤 电镀工艺 电镀溶液 辅助溶剂 储能单元 工艺加工 浸泡溶液 电镀 光亮剂 硫酸铜 硫酸 盐酸 薄膜 应用 配置
【权利要求书】:

1.一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:包括配置电镀溶液,电镀溶液为硫酸铜和辅助溶剂混合的溶液,所述辅助溶剂包括盐酸,硫酸,光亮剂,溶液温度为20℃~50℃;将薄膜浸泡溶液中电镀,然后离开溶液进行烘烤,烘烤温度为140-160℃,烘烤时间20-300s。

2.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液温度控区间为22℃~28℃。

3.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液温度控区间30℃~38℃。

4.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液中CuSO4·5H2O浓度45~120g/L。

5.根据权利要求4所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:CuSO4·5H2O其浓度范围为80-120g/L。

6.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液中Cl-离子浓度20~100PPM。

7.根据权利要求6所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:Cl-浓度为30-50PPM。

8.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述光亮剂浓度在0.5~3%。

9.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述工艺中,所述溶液中的Cu2+离子浓度在整个电镀过程的浓度波动≤10%。

10.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述工艺中,所述Cl-离子浓度在整个电镀过程的浓度波动≤5%。

11.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述工艺中,所述SO42-浓度在整个电镀过程的浓度波动≤10%。

12.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述溶液中设置有不溶性阳极,溶液和不溶性阳极板形成回路的电流密度1ASD~8ASD。

13.根据权利要求12所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述溶液中设置有不溶性阳极,溶液和不溶性阳极板形成回路的电流密度1-4ASD。

14.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液中氯离子浓度为30PPM,硫酸根浓度为100g/L,硫酸根浓度为170g/L,溶液PH为0.8,光亮剂浓度为1%。

15.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:包括如下步骤:

S1,首先把超薄薄膜,经过稀硫酸溶液处理,,然后经过喷淋清洗薄膜的两面,同时薄膜经过净水浸泡清洗;

S2,将S1得到的薄膜,按顺序分别进入第1级、第2级、第3级及第4级电镀池;

S3,将经过S2处理的薄膜,进入到第5级镀液池进行增厚处理,后进入6级镀液池,之后重复进入5级和6级镀液池,然后进入7级镀池直至12级镀液池;

S4,在经过S3处理的薄膜,进入喷淋清洗薄膜两面,然后薄膜浸泡清洗,使得膜面仅携带一层薄薄的水膜,进入保护层沉积池,沉积出膜面的抗氧化层,之后把膜面携带的溶液进行消除,使得膜面仅携带一层薄薄的水膜;

S5,经过S4处理的薄膜,进入到烘箱干燥;

S6,经过S5处理后的薄膜,通过测试、分切、收卷得到成品。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市汇美新科技有限公司,未经深圳市汇美新科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910161805.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top