[发明专利]一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺在审
申请号: | 201910161805.7 | 申请日: | 2019-03-04 |
公开(公告)号: | CN109881221A | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 叶颖辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市汇美新科技有限公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38;C25D5/10;C25D7/00;C25D5/50;C25D5/56;H01B5/14 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 叶树明 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超薄薄膜 断裂延伸率 烘烤 电镀工艺 电镀溶液 辅助溶剂 储能单元 工艺加工 浸泡溶液 电镀 光亮剂 硫酸铜 硫酸 盐酸 薄膜 应用 配置 | ||
1.一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:包括配置电镀溶液,电镀溶液为硫酸铜和辅助溶剂混合的溶液,所述辅助溶剂包括盐酸,硫酸,光亮剂,溶液温度为20℃~50℃;将薄膜浸泡溶液中电镀,然后离开溶液进行烘烤,烘烤温度为140-160℃,烘烤时间20-300s。
2.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液温度控区间为22℃~28℃。
3.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液温度控区间30℃~38℃。
4.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液中CuSO4·5H2O浓度45~120g/L。
5.根据权利要求4所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:CuSO4·5H2O其浓度范围为80-120g/L。
6.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液中Cl-离子浓度20~100PPM。
7.根据权利要求6所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:Cl-浓度为30-50PPM。
8.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述光亮剂浓度在0.5~3%。
9.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述工艺中,所述溶液中的Cu2+离子浓度在整个电镀过程的浓度波动≤10%。
10.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述工艺中,所述Cl-离子浓度在整个电镀过程的浓度波动≤5%。
11.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述工艺中,所述SO42-浓度在整个电镀过程的浓度波动≤10%。
12.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述溶液中设置有不溶性阳极,溶液和不溶性阳极板形成回路的电流密度1ASD~8ASD。
13.根据权利要求12所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:在所述溶液中设置有不溶性阳极,溶液和不溶性阳极板形成回路的电流密度1-4ASD。
14.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:所述溶液中氯离子浓度为30PPM,硫酸根浓度为100g/L,硫酸根浓度为170g/L,溶液PH为0.8,光亮剂浓度为1%。
15.根据权利要求1所述的一种高断裂延伸率的超薄薄膜电镀工艺,其特征在于:包括如下步骤:
S1,首先把超薄薄膜,经过稀硫酸溶液处理,,然后经过喷淋清洗薄膜的两面,同时薄膜经过净水浸泡清洗;
S2,将S1得到的薄膜,按顺序分别进入第1级、第2级、第3级及第4级电镀池;
S3,将经过S2处理的薄膜,进入到第5级镀液池进行增厚处理,后进入6级镀液池,之后重复进入5级和6级镀液池,然后进入7级镀池直至12级镀液池;
S4,在经过S3处理的薄膜,进入喷淋清洗薄膜两面,然后薄膜浸泡清洗,使得膜面仅携带一层薄薄的水膜,进入保护层沉积池,沉积出膜面的抗氧化层,之后把膜面携带的溶液进行消除,使得膜面仅携带一层薄薄的水膜;
S5,经过S4处理的薄膜,进入到烘箱干燥;
S6,经过S5处理后的薄膜,通过测试、分切、收卷得到成品。
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