[发明专利]CMOS图像传感器封装模块及其形成方法、摄像装置有效
申请号: | 201910147015.3 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN111627939B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 向阳辉 | 申请(专利权)人: | 中芯集成电路(宁波)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | cmos 图像传感器 封装 模块 及其 形成 方法 摄像 装置 | ||
1.一种CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,包括:
像素电路基板,其中包括感光区和读出电路区,CMOS图像传感器的像素阵列设置于所述感光区,读出电路设置于所述读出电路区,所述读出电路具有电路互连端,所述像素电路基板包括相对的第一表面和第二表面;
接合层,铺设于所述第一表面;
芯片联合结构,间隔所述接合层设置于所述第一表面上,所述芯片联合结构包括顺序叠加的芯片成型层、介质层以及芯片互连层,其中,所述芯片成型层中嵌有信号处理芯片和DRAM芯片,所述信号处理芯片具有第一连接端和第二连接端,所述DRAM芯片具有第三连接端和第四连接端,所述芯片互连层通过设置于所述介质层中的第一电连接件和第二电连接件分别与所述第一连接端和所述第三连接端电连接;
互连结构,设置于所述像素电路基板和所述接合层中,所述互连结构与所述电路互连端、所述第二连接端以及所述第四连接端均电连接;以及
再布线层,铺设于所述第二表面,所述再布线层与所述互连结构电连接。
2.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述芯片互连层介于所述接合层与所述芯片成型层之间,或者,所述芯片成型层介于所述接合层与所述芯片互连层之间。
3.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述互连结构包括设置于所述像素电路基板中的第一导电插塞,所述第一导电插塞电连接所述电路互连端和所述再布线层。
4.如权利要求3所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述电路互连端包括第一电路互连端和第二电路互连端,所述互连结构包括两个所述第一导电插塞,以分别电连接所述第一电路互连端和所述再布线层以及所述第二电路互连端与所述再布线层。
5.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述互连结构包括穿过所述像素电路基板和所述接合层的第二导电插塞,所述第二导电插塞电连接所述信号处理芯片和所述再布线层。
6.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述互连结构包括穿过所述像素电路基板和所述接合层的第三导电插塞,所述第三导电插塞电连接所述DRAM芯片和所述再布线层。
7.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述再布线层包括再布线以及与所述再布线电连接的焊垫。
8.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,还包括:伪芯片,间隔所述接合层设置于所述第一表面上。
9.如权利要求8所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述芯片联合结构对应于所述读出电路区设置于所述第一表面上,入射光被设定为从所述第二表面一侧进入所述像素阵列,所述伪芯片对应于所述感光区设置于所述第一表面上。
10.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述CMOS图像传感器为背照式CMOS图像传感器。
11.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述接合层包括胶黏材料。
12.如权利要求1所述的CMOS图像传感器封装模块,其特征在于,所述第一电连接件和所述第二电连接件为导电插塞。
13.一种摄像装置,其特征在于,包括如权利要求1至12任一项所述的CMOS图像传感器封装模块。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的