[发明专利]轮廓提取方法、轮廓提取装置及非易失性记录介质

说明书

实施方式涉及一种轮廓提取方法、轮廓提取装置及非易失性记录介质。实施方式的轮廓提取方法是从使用电子束所获得的图像中提取对象物的轮廓的轮廓提取方法，且包含如下步骤：从背向散射电子像提取对象物的轮廓；制作将二次电子像与轮廓建立关联的词典，所述二次电子像是在与背向散射电子像相同的部位获得的；针对新获取的二次电子像，参照词典，在新获取的二次电子像的多个位置算出对象物的轮廓的似然度；以及从多个位置之中将似然度的总和最大的路径设为对象物的轮廓。

[相关申请]

本申请享有在2018年9月7日提出申请的日本专利申请号2018-167650的优先权的利益，该日本专利申请的全部内容被引用到本申请中。

技术领域

实施方式涉及一种轮廓提取方法、轮廓提取装置及非易失性记录介质。

背景技术

已知一种从使用电子束而获得的图像中提取对象物的轮廓的技术。

发明内容

实施方式提供一种能够精度良好地提取对象物的轮廓的轮廓提取方法、轮廓提取装置及非易失性记录介质。

实施方式的轮廓提取方法是从使用电子束而获得的图像中提取对象物的轮廓的轮廓提取方法，且包含如下步骤：从背向散射电子像中提取所述对象物的轮廓；制作将二次电子像与所述轮廓建立关联的词典，所述二次电子像是在与所述背向散射电子像相同的部位获得的；针对新获取的二次电子像，参照所述词典，在新获取的所述二次电子像的多个位置算出对象物的轮廓的似然度；以及从所述多个位置之中将所述似然度的总和最大的路径设为所述对象物的轮廓。

附图说明

图1是表示实施方式的轮廓提取装置的硬件构成的一例的框图。

图2是表示实施方式的轮廓提取装置的软件构成的一例的框图。

图3是对实施方式的轮廓提取装置所使用的背向散射电子像及二次电子像进行说明的示意图。

图4(a)～(d)是对利用实施方式的轮廓提取装置进行的二次电子像与轮廓建立关联的方法进行说明的图。

图5是表示通过实施方式的轮廓提取装置的学习而获得的词典的一例的图。

图6(a)～(e)是说明实施方式的轮廓提取装置的轮廓提取的方法的概要的图。

图7(a)～(c)是对实施方式的轮廓提取装置的轮廓得分的算出方法进行说明的图。

图8是对实施方式的轮廓提取装置的路径的决定方法进行说明的图。

图9A是对实施方式的轮廓提取装置的框的设定方法进行说明的图。

图9B是对实施方式的轮廓提取装置的框的设定方法进行说明的图。

图10是表示利用实施方式的轮廓提取装置进行的轮廓提取处理的顺序的一例的流程图。

图11A是表示利用实施例及比较例所提取的轮廓的位置的曲线图。

图11B是表示利用实施例及比较例所提取的轮廓的位置的曲线图。

图12是表示利用实施例及比较例所提取的轮廓的位置精度的图。

具体实施方式

以下，一面参照附图一面对本发明详细地进行说明。此外，本发明并不受下述实施方式限定。另外，下述实施方式中的构成要素包含业者可容易地设想的要素、或实质上相同的要素。

[实施方式]

使用图1～图10对实施方式进行说明。

(轮廓提取装置的构成例)