[发明专利]两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台

权利要求书

1.两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面(3)，以及间隙设于所述的动台面(3)下方的底座(1)，其特征是：所述的底座(1)设有呈正三角(8)分布且垂直所述的动台面(3)作独立伸缩运动的第一驱动单元(4)、第二驱动单元(5)和第三驱动单元(6)；

所述的第一驱动单元(4)、第二驱动单元(5)和第三驱动单元(6)的结构相同，分别包括螺固于所述的底座(1)且垂直所述的动台面(3)作独立伸缩运动的双桥式放大机构(21)，用于驱动双桥式放大机构(21)的压电执行器(216)，以及设于所述的双桥式放大机构(21)和所述的动台面(3)之间的柔性连接件(22)；

所述的双桥式放大机构(21)包括顶设于所述的压电执行器(216)伸缩端的第一刚性部(211)和第二刚性部(212)；分设于所述的压电执行器(216)两侧并且连接第一刚性部(211)和第二刚性部(212)的桥式放大机构，所述的桥式放大机构包括设于第一刚性部(211)和第二刚性部(212)之间的第三刚性部(213)和第四刚性部(214)，所述的第四刚性部(214)位于第三刚性部(213)和柔性连接件(22)之间，所述的第一刚性部(211)、第三刚性部(213)、第二刚性部(212)和第四刚性部(214)顺次连有第一柔性薄板(215)；所述的第一柔性薄板(215)在第四刚性部(214)的一端向所述的底座(1)的方向倾斜设置，所述的第一柔性薄板(215)在第三刚性部(213)的一端向所述的柔性连接件(22)的方向倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的柔性连接件(22)包括螺固于所述的第四刚性部(214)的第五刚性部(221)，螺固于所述的动台面(3)的第七刚性部(225)，间隙设于所述的第五刚性部(221)和所述的第七刚性部(225)之间的第六刚性部(223)，连于所述的第五刚性部(221)和所述的第六刚性部(223)之间的第三柔性薄板(222)，以及连于第六刚性部(223)和第七刚性部(225)之间的第四柔性薄板(224)，所述的第三柔性薄板(222)垂直于所述的第四柔性薄板(224)。

3.根据权利要求2所述的两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第三柔性薄板(222)和第四柔性薄板(224)分别设于第六刚性部(223)的两端部的对称线上。

4.根据权利要求3所述的两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第五刚性部(221)和第六刚性部(223)之间的间隙为倾斜向上至第三柔性薄板(222)的第一倾斜槽(226)；所述的第六刚性部(223)和第七刚性部(225)之间的间隙为倾斜向下至第四柔性薄板(224)的第二倾斜槽(227)。

5.根据权利要求4所述的两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第六刚性部(223)包括间隙容纳第三柔性薄板(222)的第一容纳槽(228)，以及间隙容纳第四柔性薄板(224)的第二容纳槽(229)。

6.根据权利要求5所述的两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第一容纳槽(228)和第二容纳槽(229)彼此垂直相交。

7.根据权利要求6所述的两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的第二容纳槽(229)位于所述的正三角(8)的高线(81)上；所述的双桥式放大机构(21)还包括同所述的第一柔性薄板(215)平行设有顺次连接所述的第一刚性部(211)、第三刚性部(213)、第二刚性部(212)和第四刚性部(214)的第二柔性薄板(218)。

8.根据权利要求7所述的两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，其特征是：所述的底座(1)为矩形，所述的正三角(8)设于底座(1)的中央，所述的高线(81)垂直于所述的底座(1)的其中一条边；所述的底座(1)的四围设有围挡(11)；所述的底座(1)在位于所述的正三角(8)内设有贯通所述的底座(1)的管状体(13)，所述的围挡(11)和所述的管状体(13)间隙设于所述的动台面(3)的下方，所述的动台面(3)设有连通管状体(13)的中空孔(32)；双桥式放大机构(21)、柔性连接件(22)和底座(1)分别为一体成型结构。