[发明专利]石墨基座

权利要求书

1.一种石墨基座，所述石墨基座包括基座本体(100)和设置在所述基座本体(100)上的用于生长外延片的多个口袋(101)，其特征在于，每个所述口袋(101)的边缘间隔设置有多个支撑块(102)，所述支撑块(102)与所述口袋(101)的底面接触的一面设置有镂空结构(103)，所述镂空结构(103)包括多个隔热腔体(104)，所述多个隔热腔体(104)均与所述口袋(101)的底面接触，且在任意相邻的两个所述隔热腔体(104)中，距离所述口袋(101)的底面近的隔热腔体(104)被包围在距离所述口袋(101)的底面远的隔热腔体(104)和所述口袋(101)的底面之间。

2.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，所述镂空结构(103)包括4-8个隔热腔体(104)。

3.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，所述隔热腔体(104)的形状与所述支撑块(102)的外轮廓的形状相同。

4.根据权利要求1-3任一项所述的石墨基座，其特征在于，每个所述口袋(101)内的所述支撑块(102)的数量为6-12个。

5.根据权利要求4所述的石墨基座，其特征在于，每个所述口袋(101)内的所述支撑块(102)的数量为9个。

6.根据权利要求1-3任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述支撑块(102)的高度为100μm～200μm。

7.根据权利要求6所述的石墨基座，其特征在于，所述支撑块(102)的高度为120μm。

8.根据权利要求1-3任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述支撑块(102)的外轮廓的截面为梯形或矩形。

9.根据权利要求8所述的石墨基座，其特征在于，当所述支撑块(102)的外轮廓的截面为梯形时，所述梯形的斜边为内凹的弧形。