[发明专利]调节器和包括该调节器的化学机械抛光设备

权利要求书

1.一种化学机械抛光设备的调节器，所述调节器包括：

调节部件，用于对抛光垫进行抛光；

臂，具有第一端和第二端，所述第一端使臂绕着第一轴转动，所述调节单元连接到所述第二端，并且绕着偏离第一轴的第二轴可旋转；以及

柔性连接器，使调节部件与臂的第二端连接，柔性连接器是可移动的以使调节部件绕着第二轴关于臂相对倾斜移动，

其中，柔性连接器包括：

第一固定构件，固定到臂的第二端；

第二固定构件，固定到调节部件；以及

柔性连接构件，连接在第一固定构件与第二固定构件之间，并且包括：

内环，在第一固定构件和第二固定构件之间延伸，并与第一固定构件和第二固定构件接触，以及

外环，在第一固定构件和第二固定构件之间延伸，并与第一固定构件和第二固定构件接触，所述外环与所述内环径向地间隔开并完全围绕所述内环。

2.根据权利要求1所述的调节器，其中，柔性连接构件具有限定气囊的内部空间。

3.根据权利要求1所述的调节器，其中，柔性连接构件包括位于柔性连接构件的侧壁中的弯曲部。

4.根据权利要求3所述的调节器，其中，弯曲部在柔性连接构件的径向上突出。

5.根据权利要求1所述的调节器，所述调节器还包括将空气供应到内部空间中的空气供应器。

6.根据权利要求5所述的调节器，其中，空气供应器包括：

空气管线，连接到柔性连接构件的内部空间；以及

压力控制器，控制空气管线中的空气的压力。

7.根据权利要求6所述的调节器，其中，空气管线通过第一固定构件中的气孔连接到内部空间。

8.根据权利要求7所述的调节器，其中，空气管线位于臂内。

9.根据权利要求1所述的调节器，所述调节器还包括测量调节部件相对于臂的倾斜角度的传感器。

10.根据权利要求9所述的调节器，其中，传感器包括布置在第一固定构件处的至少三个子传感器，以测量第一固定构件与第二固定构件之间的相对距离。

11.根据权利要求1所述的调节器，其中，柔性连接构件包括上结合突起和下结合突起，并且第一固定件和第二固定构件包括分别容纳上结合突起和下结合突起的上结合槽和下结合槽。

12.根据权利要求11所述的调节器，其中，上结合突起和下结合突起以及上结合槽和下结合槽在柔性连接构件的周向方向上延伸。

13.根据权利要求1所述的调节器，其中，调节部件包括：

调节盘，对抛光垫进行抛光；

第一致动器，使调节盘旋转；以及

第二致动器，与柔性连接器连接以使第一致动器升降。

14.根据权利要求13所述的调节器，其中，调节部件还包括布置在调节盘上的散热构件。

15.根据权利要求14所述的调节器，其中，散热构件以螺旋形状布置在调节盘的表面上。

16.根据权利要求14所述的调节器，其中，散热构件包括散热片或散热垫。

17.根据权利要求1所述的调节器，所述调节器还包括使臂与柔性连接器旋转的第三致动器。