[发明专利]一种获取高频应用电阻模型电压系数的方法及系统有效
申请号: | 201910057299.7 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN109558699B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 张昊;范象泉 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G06F30/367 | 分类号: | G06F30/367 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 获取 高频 应用 电阻 模型 电压 系数 方法 系统 | ||
本发明公开了一种获取高频应用电阻模型电压系数的方法及系统,所述方法包括如下步骤:步骤S1,对器件进行大信号测试,得到三次谐波曲线;步骤S2,根据经验值设置模型及初始模型参数,得到初始电阻模型;步骤S3,根据得到的电阻模型进行高频大信号仿真得到三次谐波曲线,将仿真得到的三次谐波曲线与实测的三次谐波曲线进行比较;步骤S4,根据比较结果确定当前电压系数作为大信号仿真时的电压系数建立射频应用时的模型或返回步骤S2改变电压系数重复上述仿真,通过本发明,可获取适用于高频应用下的电阻电压系数。
技术领域
本发明涉及半导体器件模型技术领域,特别是涉及一种获取高频应用电阻模型电压系数的方法及系统。
背景技术
通常,一个电阻模型在描述时都会有电压系数,该系数表征了电阻阻值随电压变化的大小,也就是说,电阻的电压系数描述了电阻的线性度,而这个线性度与大信号谐波结果息息相关。
一般来说,电阻的电压系数是在低频情况下从电流电压曲线(IV)提取得到的,目前,直流(DC)和射频(RF)模型都使用这些在低频情况下获取的参数。以下为现有的由IV曲线得到的直流(DC)电阻模型示例:
图1为上述直流(DC)电阻模型的电阻-电压系数关系示意图,菱形块为电阻实测数据,细线为仿真数据,可见,直流(DC)模型下,电流电压曲线(IV)实测数据与仿真数据匹配较好。
然而,实际上,这个模型参数在高频应用时未经验证。如图4B所示,可见,对于现有IV曲线提取的直流模型的模型参数,其三次谐波(H3)的仿真值与实测数据差异较大,也就是说,现有IV曲线提取的直流模型的模型参数只适用于直流(DC)仿真,不适用于高频应用,因此,对于电阻模型的电压系数,在低频和高频需要分开提取,因此,实有必要提出一种技术手段,以获取高频应用下的电阻电压系数。
发明内容
为克服上述现有技术存在的不足,本发明之目的在于提供一种获取高频应用电阻模型电压系数的方法及系统,以实现获取适用于高频应用下的电阻电压系数的目的。
为达上述及其它目的,本发明提出一种获取高频应用电阻模型电压系数的方法,包括如下步骤:
步骤S1,根据经验值设置模型及初始模型参数,得到初始电阻模型;
步骤S2,根据得到的电阻模型进行高频大信号仿真得到三次谐波曲线,将仿真得到的三次谐波曲线与实测的三次谐波曲线进行比较;
步骤S3,根据比较结果确定当前电压系数作为高频仿真时的电压系数建立射频应用时的模型或返回步骤S1改变电压系数重复上述仿真。
优选地,于步骤S3中,若比较结果满足要求,则将当前电压系数作为高频仿真时的电压系数建立射频应用时的模型。
优选地,于步骤S3中,若比较结果不满足要求时,则改变当前电压系数并返回步骤S1,重复仿真得到三次谐波曲线,将仿真得到的三次谐波曲线与实测的三次谐波曲线进行比较直至得到满足谐波要求的实测与仿真的匹配度,将对应的电压系数值作为高频仿真时的电压系数建立射频应用时的模型。
优选地,所述电压系数为电压系数vc2。
优选地,所述电压系数vc2在低频直流模型和高频应用模型下分开提取。
优选地,于步骤S1之前还包括如下步骤:
对器件进行大信号测试,得到实测的三次谐波曲线。
为达到上述目的,本发明还提供一种获取高频应用电阻模型电压系数的系统,包括:
参数设置计算单元,用于根据经验值设置模型及初始模型参数,得到初始电阻模型;
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