[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法

说明书

该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)；激光照明(2)；干涉部(3)，其使激光发生干涉；摄像部(35)，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部(4)，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分。控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。

技术领域

本发明涉及一种缺陷检查装置和缺陷检查方法。

背景技术

以往，已知一种缺陷检查装置。缺陷检查装置例如在国际公开第2017/221324号中被公开。

在上述国际公开第2017/221324号中公开了一种声波传播影像化装置(缺陷检查装置)，其具备：声波施加部，其对测定对象的表面施加声波(包括在气体、液体、固体中传播的所有弹性波)；脉冲激光光源，其向测定对象照射脉冲激光；散斑剪切干涉仪，其使来自被声波施加部施加了声波振动(以下简称为振动)的测定对象的互不相同的位置的、脉冲激光的反射光发生干涉；图像传感器，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制处理部，其基于由图像传感器拍摄到的发生了干涉的反射光，来生成与测定对象的振动的传播有关的运动图像。基于由该声波传播影像化装置生成的与振动的传播有关的运动图像，来获取测定对象的缺陷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/221324号

发明内容

发明要解决的问题

在上述国际公开第2017/221324号的声波传播影像化装置(缺陷检查装置)中记载有将振动的传播不连续的部位探测为缺陷的内容。但是，由于在没有缺陷的对象物中的具有不连续的形状和构造的部分也会产生振动的传播的不连续，因此为了判别振动的传播的不连续实际上是否为缺陷，需要将振动的传播的信息与对象的形状及构造的信息进行对比。

本发明是为了解决如上所述的问题而完成的，本发明的一个目的在于提供如下一种缺陷检查装置和缺陷检查方法：能够容易地掌握振动检查对象中的振动的传播不连续的位置，并且能够容易地区分检查对象的形状及构造与缺陷。

用于解决问题的方案

为了实现上述目的，本发明的第一方面的缺陷检查装置构成为具备：激励部，其激励检查对象来使该检查对象产生声波振动；激光照明，其向检查对象照射激光；干涉部，其使来自被激励部进行了激励的检查对象的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉；摄像部，其拍摄发生了干涉的反射光；以及控制部，其基于由摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分，其中，控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。

在本发明的第一方面的缺陷检查装置中，如上所述那样设置控制部，该控制部进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由摄像部拍摄到的检查对象的静止图像。由此，能够一边根据静止图像来确认检查对象的形状、构造，一边确认从物理量的空间分布中提取出的振动的不连续部分。由此，能够容易地将检查对象的静止图像与振动的不连续部分的强调显示进行对比，因此能够容易地掌握检查对象中的振动的传播不连续的位置。另外，能够根据检查对象的静止图像来确认检查对象的形状。其结果，能够容易地掌握检查对象中的振动的传播不连续的位置，并且能够容易地区分检查对象的形状及构造与缺陷。