[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，具备：

激励部，其激励检查对象来使该检查对象产生声波振动；

激光照明，其向所述检查对象照射激光；

干涉部，其使来自被所述激励部进行了激励的所述检查对象的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉；

摄像部，其拍摄发生了干涉的反射光；以及

控制部，其基于由所述摄像部拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因所述检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，并且基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分，

其中，所述控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于由所述摄像部拍摄到的所述检查对象的静止图像。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分中的周期性地变化的物理量以运动图像的形式叠加地显示于静止图像。

3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述控制部构成为进行以下控制：根据提取出的振动的不连续部分的物理量的变化使重叠地显示于静止图像的颜色发生变化来进行强调显示。

4.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述控制部构成为：进行控制，以使得存在在根据提取出的振动的不连续部分的物理量的变化使重叠地显示于静止图像的颜色发生变化时消除色调的定时。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于基于由所述摄像部拍摄到的多个静止图像获取到的一张静止图像。

6.根据权利要求1～4中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

还具备非相干照明，所述非相干照明向所述检查对象照射非相干光，

所述控制部构成为进行以下控制：将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于在从非相干照明照射出光的状态下由所述摄像部拍摄到的静止图像。

7.一种缺陷检查方法，在该缺陷检查方法中，

激励检查对象来使该检查对象产生声波振动，

向所述检查对象照射激光，

使来自被激励的所述检查对象的互不相同的位置的、激光的反射光发生干涉，

拍摄发生了干涉的反射光，

基于拍摄到的发生了干涉的反射光，来测定因所述检查对象的振动的传播而产生的、周期性地变化的物理量的空间分布，

基于物理量的空间分布来提取振动的不连续部分，

将提取出的振动的不连续部分以强调的方式重叠地显示于拍摄到的所述检查对象的静止图像。