[发明专利]晶体管电路及其制造方法

说明书

一种晶体管电路(0)及其制造方法，晶体管电路(0)包括：绝缘衬底(01)，晶体管(02)、第一信号线(03)、第二信号线(04)和m条控制线(05)均设置在绝缘衬底(01)的目标侧，晶体管(02)的栅极(021)与第一信号线(03)连接，晶体管(02)的第一极(022)与第二信号线(04)连接；第一信号线(03)和第二信号线(04)中的至少一条信号线上搭接有控制线(05)，且至少一条信号线的材料均为二维材料，每条控制线(05)包括：沿远离绝缘衬底(01)的方向依次叠加的绝缘层(051)和导电层(052)，控制器(06)与控制线(05)连接，用于向控制线(05)中的导电层(052)施加电压。上述晶体管电路(0)解决了晶体管电路(0)的功能较单一的问题，丰富了晶体管电路(0)的功能。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别涉及一种晶体管电路及其制造方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，晶体管电路(如功率放大器)得到了广泛的应用。

相关技术中，晶体管电路通常包括：绝缘衬底，以及设置在绝缘衬底上的晶体管、输入信号线和输出信号线。其中，晶体管的栅极通过输入信号线与信号源连接，晶体管的第一极通过输出信号线与负载连接，晶体管的第二极接地。晶体管能够对信号源输入的某种频率的信号的幅值进行调整，并将调整后的信号输出至负载。

但是，相关技术中晶体管电路中的晶体管只能够对一种频率的信号的幅值进行调整，因此，晶体管电路的功能较单一。

发明内容

本申请提供了一种晶体管电路及其制造方法，可以解决晶体管电路的功能较单一的问题。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种晶体管电路，所述晶体管电路包括：绝缘衬底、晶体管、第一信号线、第二信号线、m条控制线和控制器，m≥1，所述晶体管、所述第一信号线、所述第二信号线和所述m条控制线均设置在所述绝缘衬底的目标侧，所述晶体管的栅极与所述第一信号线连接，所述晶体管的第一极与所述第二信号线连接；所述第一信号线和所述第二信号线中的至少一条信号线上搭接有所述控制线，且所述至少一条信号线的材料均为二维材料，每条所述控制线包括：沿远离所述绝缘衬底的方向依次叠加的绝缘层和导电层，所述控制器与所述控制线连接，用于向所述控制线中的导电层施加电压。

本发明实施例提供的晶体管电路中，连接晶体管的第一信号线和第二信号线中，存在至少一条信号线上搭接有控制线，且每个搭接有控制线的信号线的材料均为二维材料。因此，在控制器向控制线中的导电层施加电压时，该控制线搭接的信号线中的载流子数量会发生改变，从而使得晶体管的工作频率发生改变，使晶体管能够对不同频率的信号进行处理，丰富了晶体管的功能。

另外，相关技术中的每个晶体管电路的工作频率固定，因此，在需要对多种不同频率的信号进行处理时，相关技术中需要采用多个晶体管电路。而本发明实施例提供的晶体管电路由于工作频率可调，因此，在需要对多个不同频率的信号进行处理时，可以通过控制器和控制线对晶体管电路的工作频率进行调整，从而能够实现通过一个晶体管电路对多个不同频率的信号进行处理的目的。

可选的，所述绝缘衬底的所述目标侧还设置有地线和连接线，所述连接线的两端分别连接所述地线和所述晶体管的第二极。该地线、第一信号线和第二信号线均位于绝缘衬底的目标侧，因此，绝缘衬底、地线以及绝缘衬底上的信号线形成共面波导结构，这种结构能够减少信号线上产生寄生电容、寄生电阻和寄生电感，进而防止该寄生电容、寄生电阻和寄生电感对晶体管电路的影响。

可选的，所述控制线中未搭接在所述信号线上的部分与所述绝缘衬底接触。也即，控制线中未搭接在信号线上的部分下并未设置有除信号线之外的其他导电材料，从而能够防止这些导电材料对控制线造成的影响。

可选的，所述控制线与所述地线交叉排布，所述地线包括：通过第一空气桥连接的多个地线本体，且每两个相邻的所述地线本体之间设置有一条所述控制线，所述第一空气桥位于所述控制线远离所述绝缘衬底的一侧。