[发明专利]磁传感器模块在审
申请号: | 201880084137.6 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN111527415A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 吉田将规;奥津吉隆;石田一裕;渡部司也;平林启;酒井正则 | 申请(专利权)人: | 旭化成微电子株式会社;TDK株式会社 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02;G01R33/09;G01R35/00;H01L43/02;H01L43/08 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 模块 | ||
本发明在于提供一种减少了来自线圈的发热对磁传感器的影响的磁传感器模块。根据以往的方法,在磁传感器芯片上,与多个磁传感器相对应地需要多个温度测量电路,在磁传感器芯片还需要多个用于与IC芯片相连接的焊盘。因而,存在搭载磁传感器的磁传感器芯片的尺寸增大并且制造成本升高的问题。本发明提供一种磁传感器模块,其具有:IC芯片,其具有第1线圈、与第1线圈的一端相连接的第1焊盘以及与第1线圈的另一端相连接的第2焊盘;磁传感器芯片,其配置于IC芯片的面上,具有检测第1轴向的磁气的第1磁传感器;第1外部输出端子;第1导线,其将第1焊盘和第1外部输出端子连接;第2外部输出端子;以及第2导线,其将第2焊盘和第2外部输出端子连接。
技术领域
本发明涉及一种磁传感器模块。
背景技术
为了维持磁传感器的精度,期望在动作过程中也对灵敏度进行校正。因此,众所周知如下一种方法:向内置于磁传感器芯片的灵敏度调整用线圈供给恒定电流,生成已知的磁场,通过对该磁场进行测量,在动作过程中调整磁传感器的灵敏度(例如专利文献1和专利文献2)。
磁阻元件的电阻值依赖于温度。因而,即使灵敏度调整用线圈所产生的磁场是一定的,当发生温度变化时,磁阻元件的输出也会变动。为了确保灵敏度调整的分辨能力,对灵敏度调整用线圈赋予mA数量级的较大的电流。这时,当因向线圈通电而产生的热向磁阻元件等具有温度依赖性的磁传感器传递时,与没有向线圈通电的情况相比,会产生灵敏度误差。这样的线圈发热所引起的灵敏度误差有时会妨碍准确的灵敏度调整。
与此相对,在专利文献3中记载了如下内容:“一种磁传感器装置,该磁传感器装置的特征在于,具有:磁阻元件对,该磁阻元件对是将两个磁阻元件串联连接而成的;存储器,该存储器将该磁阻元件对的‘温度-中点电压’特性作为‘地址-数据’进行存储;温度测量电路,该温度测量电路对磁阻元件对的温度进行测量;温度/地址转换电路,该温度/地址转换电路将该测量出的温度转换为存储器的地址并向存储器输入;数据/基准电压转换电路,该数据/基准电压转换电路将存储器所输出的数据转换为基准电压并输出;以及差动放大电路,该差动放大电路将该基准电压与磁阻元件对的中点电压之差放大并输出。”
但是,根据该方法,在磁传感器芯片上,与多个磁传感器相对应地需要多个温度测量电路,在磁传感器芯片还需要多个用于与IC芯片相连接的焊盘。因而,存在搭载磁传感器的磁传感器芯片的尺寸增大并且制造成本升高的问题。
专利文献1:日本特开2003-202365号公报
专利文献2:日本特开2017-96627号公报
专利文献3:日本特开平6-77558号公报
发明内容
鉴于上述问题,本发明的课题在于提供一种减少了来自线圈的发热对磁传感器的影响的磁传感器模块。
在本发明的第1技术方案中,提供如下的磁传感器模块,其具有:IC芯片,其具有第1线圈、与第1线圈的一端相连接的第1焊盘以及与第1线圈的另一端相连接的第2焊盘;磁传感器芯片,其配置于IC芯片的面上,具有检测第1轴向的磁气的第1磁传感器;第1外部输出端子;第1导线,其将第1焊盘和第1外部输出端子连接;第2外部输出端子;以及第2导线,其将第2焊盘和第2外部输出端子连接。
(一般的公开)
(技术方案1)
可以是,磁传感器模块具有IC芯片。可以是,IC芯片具有第1线圈、与第1线圈的一端相连接的第1焊盘以及与第1线圈的另一端相连接的第2焊盘。
可以是,磁传感器模块具有磁传感器芯片。可以是,磁传感器芯片配置于IC芯片的面上,具有检测第1轴向的磁气的第1磁传感器。
可以是,磁传感器模块具有第1外部输出端子。
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