[发明专利]用于高RES FMM的FMM工艺

说明书

本文所公开的方面涉及在有机发光二极管(OLED)的制造中使用的具有组合的公共金属掩模(CMM)和精细金属掩模(FMM)的设备及其制造方法。一方面，提供了一种掩模组件。所述掩模包括：公共金属掩模，所述公共金属掩模具有从中穿过的一个或多个窗口；和至少一个精细金属掩模，所述至少一个精细金属掩模设置在至少一个窗口内。另一方面，公开了一种畸变补偿母版。所述掩模包括：多个窗口，所述多个窗口穿过所述掩模形成，所述窗口的位置被定位来补偿任何畸变，包括由重力引起的位置畸变。作为一个示例，所述窗口可以在所述掩模的中心处或附近定位在较高处，而在所述掩模的边缘附近逐渐地降低。

背景技术

领域

本文所公开的方面涉及在基板上形成电子装置。更具体地，本文所公开的方面涉及一种在有机发光二极管(OLED)的制造中使用的具有组合的公共金属掩模(CMM)和精细金属掩模(FMM)的方法和设备。

相关技术描述

OLED近来已经用于制造用于电视机屏幕、手机显示器、计算机监视器和类似者的平板显示器。OLED是其中光发射层包括由某些有机化合物制成的多个薄膜的发光二极管类型。OLED显示器的可能色彩、亮度和视角的范围大于常规显示器的可能色彩、亮度和视角的范围，因为OLED像素直接地发射光而不需要背光。另外地，OLED显示器的能耗远低于传统显示器的能耗。

当前OLED制造方法和设备通常使用有机材料的蒸发和使用多个图案化阴影掩模在基板上的金属沉积。在垂直沉积系统中，当前阴影掩模在重力下会下垂，这对掩模在基板上方的对准和定位提出挑战。此外，由于掩模的骨架厚，因此难以实现与当前掩模的完全接触。此外，当前制造方法和设备因后续掩蔽操作而遭遇对准问题。

因此，本领域中需要的是用于制造OLED的改进的方法和设备。

发明内容

本文所公开的方面涉及在有机发光二极管(OLED)的制造中使用的具有组合的公共金属掩模(CMM)和精细金属掩模(FMM)的设备及其制造方法。一方面，提供了一种掩模组件。所述掩模包括：公共金属掩模，所述公共金属掩模具有从中穿过的一个或多个窗口；以及至少一个精细金属掩模，所述至少一个精细金属掩模设置在至少一个窗口内。另一方面，公开了一种畸变补偿母版 (distortion compensation master)。所述母版包括：多个窗口，所述多个窗口穿过所述母版形成，所述窗口的位置被定位来补偿任何畸变，包括由重力引起的位置畸变。作为一个示例，所述窗口可以在所述掩模的中心处或附近定位在较高处，而在所述掩模的边缘附近逐渐地降低。

一方面，公开了一种掩模组件。所述掩模包括：公共金属掩模，所述公共金属掩模具有从中穿过的至少一个窗口；以及精细金属掩模，所述精细金属掩模设置在所述至少一个窗口内。

另一方面，公开了一种掩模组件。所述掩模包括：公共金属掩模部分，所述公共金属掩模部分具有从中穿过而形成的多个窗口；以及多个精细金属掩模部分，所述多个精细金属掩模部分设置在所述公共金属掩模部分的所述多个窗口内。

另一方面，公开了一种制造掩模组件的方法。所述方法包括：制造在其中具有多个窗口的公共金属掩模；形成精细金属掩模，包括：形成畸变掩模，所述畸变掩模具有穿过所述畸变掩模形成的多个畸变补偿窗口，所述畸变补偿窗口的位置在所述畸变掩模的中心处或附近定位在较高处，而在所述畸变掩模的边缘附近逐渐地降低；以及在所述畸变补偿窗口的每一个内形成精细金属掩模图案；以及组合所述公共金属掩模和所述精细金属掩模，使得所述精细金属掩模图案设置在所述公共金属掩模的所述窗口中。

附图说明

为了能够详细地理解本公开内容的上述特征的方式，可以参考各方面来提供以上简要地概述的本公开内容的更具体的描述，其中一些方面在附图中示出。然而，应注意，附图仅示出了示例性方面，并且因此不应视为对本公开内容的范围的限制。本公开内容可以允许其他同等有效方面。

图1是制造用于制造OLED的掩模组件的工艺流程。