[发明专利]分开的狭缝衬垫门

权利要求书

1.一种分开的狭缝衬垫门组件，包括：

第一门部分，所述第一门部分具有顶表面、后面和前面；

RF导电垫圈，所述RF导电垫圈经设置在所述第一门部分的所述前面上；

第二门部分；

连杆组件，所述连杆组件将所述第一门部分连接到所述第二门部分，其中所述连杆组件经配置成将所述第二门部分相对于所述第一门部分的垂直移动转换为将所述第一门部分与所述第二门部分间隔开的所述第一门部分相对于所述第二门部分的水平移动；以及

致动器，所述致动器经配置成提供所述第二门部分的垂直移动，所述致动器连接到所述第二门部分，

其中所述连杆组件包括压缩偏置弹簧，所述压缩偏置弹簧偏置所述第一门部分远离所述第二门部分。

2.如权利要求1所述的分开的狭缝衬垫门组件，进一步包括：

缓冲器，所述缓冲器经设置在所述顶表面上。

3.如权利要求1所述的分开的狭缝衬垫门组件，其中所述连杆组件进一步包括：

拉伸弹簧连杆，所述拉伸弹簧连杆将所述第一门部分偏置到所述第二门部分。

4.如权利要求3所述的分开的狭缝衬垫门组件，其中所述连杆组件进一步包括：

椭圆孔，所述椭圆孔形成在将所述第一门部分耦接到所述第二门部分的所述连杆组件的连杆的一端中，

其中所述压缩偏置弹簧经设置在所述连杆之上。

5.如权利要求4所述的分开的狭缝衬垫门组件，其中所述连杆在第一端连接到所述第一门部分并在第二端连接到所述第二门部分，并且其中当所述水平移动使所述第一门部分与所述第二门部分间隔开时，所述第一端以弧形行进。

6.如权利要求1所述的分开的狭缝衬垫门组件，其中所述RF导电垫圈由氧化钇形成。

7.如权利要求6所述的分开的狭缝衬垫门组件，进一步包括：

由PTFE形成的密封件。

8.一种半导体处理腔室，包括：

腔室主体；

盖组件，所述盖组件设置在所述腔室主体的顶部，其中处理容积形成在由所述盖组件和所述腔室主体界定的区域内；

静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述处理容积中；

衬垫，所述衬垫围绕所述静电吸盘并且设置有所述处理容积；

开口，所述开口通过所述腔室主体和所述衬垫形成；以及

分开的狭缝衬垫门组件，包括：

第一门部分，所述第一门部分具有顶表面、后面和前面；

RF导电垫圈，所述RF导电垫圈经设置在所述第一门部分的所述前面上；

第二门部分；

连杆组件，所述连杆组件将所述第一门部分连接到所述第二门部分，其中所述连杆组件经配置成将所述第二门部分相对于所述第一门部分的垂直移动转换为将所述第一门部分与所述第二门部分间隔开的所述第一门部分相对于所述第二门部分的水平移动；以及

致动器，所述致动器经配置成提供所述第二门部分的垂直移动，所述致动器连接到所述第二门部分，

其中所述连杆组件包括压缩偏置弹簧，所述压缩偏置弹簧偏置所述第一门部分远离所述第二门部分。

9.如权利要求8所述的半导体处理腔室，进一步包括：

缓冲器，所述缓冲器经设置在所述顶表面上。

10.如权利要求8所述的半导体处理腔室，其中所述连杆组件进一步包括：

拉伸弹簧连杆，所述拉伸弹簧连杆将所述第一门部分偏置到所述第二门部分。

11.如权利要求10所述的半导体处理腔室，其中所述连杆组件进一步包括：

椭圆孔，所述椭圆孔形成在将所述第一门部分连接到所述第二门部分的所述连杆组件的连杆的一端中，

其中所述压缩偏置弹簧经设置在所述连杆之上。