[发明专利]搬运系统以及搬运方法

说明书

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。容易使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动而不使用特殊的搬运机械。搬运系统具备：具备起重机轨道、以及在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机的存储库；在存储库区域外，沿着交接口以及处理装置的装载端口设置并延伸至存储库区域(规定区域)的高架搬运车轨道；在交接口与装载端口之间搬运物品的高架搬运车；以及连结轨道，起重机用行驶部能够经由连结轨道从起重机轨道进入高架搬运车轨道行驶至存储库区域。

技术领域

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。

背景技术

在半导体制造工厂等制造工厂中，配置有保管收纳半导体晶圆的FOUP或者收纳中间掩膜的中间掩膜盒等物品的存储库。存储库具备用于在多个保管架与交接口之间移载物品的起重机。作为该起重机公知有在被配置于顶棚的轨道上行驶的悬挂式起重机，为了提高物品的移载效率，提出了两种悬挂式起重机在共用的轨道上行驶的构成(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：国际公开第2016/178347号

对于专利文献1所记载的存储库，两种悬挂式起重机虽在共用的轨道上行驶，但其行驶范围被限制在配置了存储库的一个存储库区域内。因此，在使该悬挂式起重机向其它的存储库区域移动时，或者为了维护而使悬挂式起重机向维护区域移动时，需要从轨道取下并搬运悬挂式起重机。但是，从轨道取下悬挂式起重机的作业麻烦且费事，作业者的负担大。并且，由于使用特殊的搬运设备搬运已取下的悬挂式起重机，所以不仅成本提高，而且存在搬运也需要时间这样的问题。

发明内容

本发明目的是提供一种能够容易地使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动而不使用特殊的搬运设备的搬运系统以及搬运方法。

本发明的搬运系统具备：被配置于存储库区域内的存储库，所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；高架搬运车轨道，其被设置于存储库区域之外，沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；高架搬运车，其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在交接口与装载端口之间搬运物品；以及连结轨道，其连结起重机轨道与高架搬运车轨道，起重机用行驶部能够从起重机轨道通过连结轨道进入高架搬运车轨道，在高架搬运车轨道行驶至规定区域，或者能够从规定区域进入高架搬运车轨道行驶至连结轨道，通过连结轨道进入起重机轨道而在起重机轨道行驶。

另外，起重机轨道、高架搬运车轨道、以及连结轨道的与起重机用行驶部行驶的方向正交的剖面形状也可相同或者大致相同。另外，起重机用行驶部与搬运车用行驶部也可具备共用的车轮以及供车轮安装的行驶部主体。另外，高架搬运车在从停止状态开始基于搬运车用行驶部的行驶时，也可使物品保持部上升到最上方位置之后，开始行驶。另外，起重机轨道也可被设置于使悬挂式起重机的桅杆通过，且禁止作业者的进入的作业者进入禁止区域的上方，高架搬运车轨道也可被设置于允许作业者的通行的作业者通路的上方，在悬挂式起重机进入高架搬运车轨道时，也可禁止作业者向桅杆通过的作业者通路的进入。另外，规定区域也可是配置有与存储库不同的存储库的其它存储库区域。

另外，高架搬运车轨道也可具备：第一机架内环绕轨道、第二机架内环绕轨道、与第一机架内环绕轨道以及第二机架内环绕轨道各自的一方的端部连结的第一机架间轨道、以及与第一机架内环绕轨道以及第二机架内环绕轨道各自的另一方的端部连结的第二机架间轨道，存储库的起重机轨道也可利用第一连结轨道与第一机架间轨道连结，其它存储库的起重机轨道也可利用第二连结轨道与第二机架间轨道连结。另外，规定区域也可是维护区域。另外，规定区域也可包含悬挂式起重机的初始投入部。