[发明专利]利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法

说明书

本发明提供一种利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法，其包括：在玻璃基板上形成的金属层的上面涂布紫外线固化树脂，执行加压微图案母模的压印工序，并在所述紫外线固化树脂上形成微图案之后照射紫外线，以固化所述微图案的步骤；对被固化的所述微图案的一侧面与上面执行倾斜蒸镀工序，以形成微图案强化部的步骤；执行第一等离子蚀刻工序，以去除所述微图案中因没有形成所述微图案强化部而以垂直方向露出的区域的紫外线固化树脂的步骤；执行第二等离子蚀刻工序，以去除所述金属层中以垂直方向露出的区域的金属层的步骤；以及去除残存于已去除所述以垂直方向露出的区域的金属层的上部的微图案及微图案强化部的步骤。

技术领域

本发明涉及一种当利用通过执行压印工序并照射紫外线而形成的微图案执行去除金属层的等离子蚀刻工序时，在微图案的一侧面与上面形成微图案强化部，从而能够有效地去除金属层的利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法。

背景技术

近来，如下方法受到关注：通过在玻璃基板或在薄片上涂布紫外线固化树脂后接触执行电子束光刻等的工序而制作成的微图案母模来形成微图案，向微图案照射紫外线来固化之后，利用被固化的微图案执行等离子蚀刻，从而形成所需要的图案。

上述的利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法的优点在于能够容易地形成微图案，然而相反地，由于在金属层上形成所需要的图案时，被压印的微图案在执行等离子蚀刻工序期间没有得到充分的维持，因而难以在金属层上有效地形成所需要的图案。

本发明的背景技术于2006年1月27日在韩国专利局以公开专利公报10-2006-0008663号公开。

发明内容

技术课题

因此，本发明旨在解决现有技术存在的问题，本发明所要解决的技术课题是提供一种当利用通过执行压印工序并照射紫外线而形成的微图案执行去除金属层的等离子蚀刻工序时，在微图案的一侧面与上面形成微图案强化部，从而能够有效地去除金属层的利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法。

本发明所要解决的技术课题并不仅限于上面所提及的技术课题，本发明所属领域的一般技术人员通过以下记载可以准确地理解没有被提及的其他技术课题。

技术方案

为实现上述的目的，本发明的一实施例的利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法包括：在玻璃基板上形成的金属层的上面涂布紫外线固化树脂，执行加压微图案母模的压印工序，并在所述紫外线固化树脂上形成微图案之后照射紫外线，以固化所述微图案的步骤；对被固化的所述微图案的一侧面与上面执行倾斜蒸镀工序，以形成微图案强化部的步骤；执行第一等离子蚀刻工序，以去除所述微图案中因没有形成所述微图案强化部而以垂直方向露出的区域的紫外线固化树脂的步骤；执行第二等离子蚀刻工序，以去除所述金属层中以垂直方向露出的区域的金属层的步骤；以及去除残存于已去除所述以垂直方向露出的区域的金属层的上部的微图案及微图案强化部的步骤。

本发明的一实施例的利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法在所述形成微图案强化部的步骤中，所述微图案强化部优选由SiO2、TiO2、SiN或SiON形成。

本发明的另一实施例的利用被压印的微图案的等离子蚀刻方法包括：在玻璃基板上形成的金属层的上面涂布紫外线固化树脂，执行加压微图案母模的压印工序，并在所述紫外线固化树脂上形成微图案之后照射紫外线，以固化所述微图案的步骤；对被固化的所述微图案的一侧面与上面执行倾斜蒸镀工序之后，对被固化的所述微图案的另一侧面与上面执行倾斜蒸镀，以形成微图案强化部的步骤；执行第一等离子蚀刻工序，以去除所述微图案中因没有形成所述微图案强化部而以垂直方向露出的区域的紫外线固化树脂的步骤；执行第二等离子蚀刻工序，以去除所述金属层中因以垂直方向露出的区域的金属层的步骤；以及去除残存于已去除所述以垂直方向露出的区域的金属层的上部的微图案及微图案强化部的步骤。