[发明专利]储存库

说明书

本发明在保管区域内有效地形成气流、确保保管区域的清洁度。储存库(100)具备：划分储存库内外的壁部(11)，配置在壁部(11)的内侧、保管物品(M)的保管区域(12)，配置在保管区域(12)的壁部(11)一侧、沿上下方向延伸的管道(13)，设置在管道(13)的上端、将向下方流动的空气导入到管道(13)内的导入口(13a)，限制管道(13)的上侧与下侧之间空气流通的流通限制部(13b)，设置在管道(13)的保管区域(12)一侧、将空气喷出到保管区域(12)内的喷出口(13c、13d)，以及设置在管道(13)中的流通限制部(13b)的下侧、吸引外部的空气并导入到管道(13)内的风扇(14)。

技术领域

本发明涉及储存库。

背景技术

为了保管多个收容分划板或半导体晶圆等的容器，储存库设置在半导体工厂等地方。储存库具有划分内外的壁部和配置在壁部的内侧、保管容器的保管区域。这样的储存库根据保管的容器(或容器的收容物)不同而要求保管区域的清洁度在ISO标准4级以上。因此，我们知道将外部的清洁空气导入到保管区域内实现保管区域的清洁化、例如使用从建筑物顶棚部所装备的吊顶风扇流到下方的清洁空气而在保管区域内形成水平方向的气流的结构(参照例如专利文献1)。

专利文献1中记载的储存库这样设置：设置在保管区域的背面一侧的管道的上侧开放，将被吊顶风扇吹动流到下方的空气导入到管道内、将空气沿水平方向从管道喷出到保管区域内。并且，在管道的下侧设置有鼓风机电机，将储存库内的气体送入管道内使之循环。该专利文献1中记载的储存库由于从顶棚流到下方的空气从管道的上方向下方变弱，因此在保管区域的下方一侧与上方一侧相比，沿水平方向喷出的量变少。因此，利用鼓风机电机将气体送入管道内，抑制上下方向上从管道沿水平方向喷出量的不均匀。

并且，我们知道不使用从吊顶风扇流动到下方的空气，而例如在管道的背面一侧配置了风扇的储存库(参照例如专利文献2)。专利文献2记载的储存库通过利用风扇将储存库外部的空气引入到管道内、将空气沿水平方向喷出到保管区域内，从而在保管区域内形成气流。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000－16521号公报

专利文献2：日本特许第5251980号公报

发明的概要

发明要解决的课题

上述专利文献1记载的储存库中，能够确保从管道的下方喷出到保管区域内的空气的量，但由于从鼓风机电机将储存库内的气体送入管道内并再次喷出到保管区域，因此产生不能够确保保管区域的清洁度的情况。并且，上述专利文献2记载的储存库中，在想要在整个保管区域的范围内形成固定量的气流的情况下，有必要在管道的上下方向上配置多台风扇，存在不仅风扇的数量变多、增加设备成本，而且在储存库运转的过程中用于驱动风扇的功耗变大的问题。并且，如果风扇的数量变多，伴随风扇驱动的发热量也变大，存在招致储存库内的温度上升的情况。

发明内容

本发明以提供能够在保管区域内有效地形成气流来确保保管区域的清洁度、并且能够抑制储存库内的温度上升的储存库为目的。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的储存库具备：划分储存库内外的壁部，配置在壁部的内侧、保管物品的保管区域，配置在保管区域的壁部一侧、沿上下方向延伸的管道，设置在管道的上端、将朝向下方流动的空气导入到管道内的导入口，限制管道的上侧与下侧之间的空气流通的流通限制部，设置在管道保管区域一侧、将空气喷出到保管区域内的喷出口，以及设置在管道中的流通限制部的下侧、吸引外部的空气并导入到管道内的风扇。