[实用新型]冷却水系统及铝刻蚀工艺机台

权利要求书

1.一种冷却水系统，其特征在于，包括冷却管、入水端、第一水路分流器、第二水路分流器、第一分水管件、第二分水管件、第一冷却腔体及第二冷却腔体，所述第一分水管件及第二分水管件分别具有主管及支管，冷却水自所述入水端流经所述第一分水管件后分为第一水路和第二水路；

所述第一水路的冷却水沿第一分水管件支管流向第一冷却腔体，在热交换后流向所述第二分水管件的支管，再从第二分水管件的主管流出至出水端；

所述第一、二水路分流器分别具有总管和支管，所述第二水路的冷却水沿第一分水管件主管流向第一水路分流器总管，再从第一水路分流器支管流出至第二冷却腔体，经热交换后流向第二水路分流器支管再从第二水路分流器总管流出，经过第二分水管件主管流出至出水端。

2.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，还包括第一阀门，其设置在第一分水管件支管以及第一冷却腔体之间，用于控制第一水路的接通和关闭。

3.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，还包括第二阀门，其设置在第一水路分流器支管和第二冷却腔体之间，用于控制第二水路的接通和关闭。

4.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，所述第一分水管件及第二分水管件的主管管径大于支管管径。

5.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，所述第一分水管件及第二分水管件的主管管径为四分之三英寸，支管管径为二分之一英寸。

6.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，第一水路分流器及第二水路分流器的主管管径为四分之三英寸，支管管径为八分之三英寸。

7.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，还包括低温水箱、水泵、过滤器，所述低温水箱中的水经水泵提压、过滤器过滤后，进入所述入水端。

8.如权利要求1所述的冷却水系统，其特征在于，还包括高温水箱，经热交换后的水自所述出水端流入所述高温水箱。

9.一种使用如权利要求1-8中之一所述的冷却水系统的铝刻蚀工艺机台，包括：远程等离子发生器和去胶腔基座，所述第一冷却腔体用于冷却远程等离子发生器，所述第二冷却腔体用于冷却去胶腔基座。