[实用新型]用于对电极调温的系统以及处理设备

说明书

本实用新型涉及一种用于对电极调温的系统。为了提供一种改善的用于对电极调温的系统和一种具有这样的系统的处理设备，本实用新型提出：所述系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置。在此，所述热导管适合于至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中。所述耦合元件适合于加热或冷却热导管的第二端部，而调温装置适合于加热或冷却耦合元件。在此，所述电极和所述调温装置相互电分离。本实用新型还涉及一种处理设备，所述处理设备具有处理室和至少一个在处理室之内的电极以及至少一个这种用于对电极调温的系统。通过本实用新型保证在调温装置和电极之间的良好电解耦并且避免或减少现存的调温系统的其他缺点。

技术领域

本实用新型涉及一种用于对一个或多个电极调温的系统。在此，对所述一个或多个电极调温通过热导管实现，由此由调温装置能实现对电极均匀调温和电解耦。此外，本实用新型涉及一种处理设备。

背景技术

在半导体技术、例如太阳能电池制造和表面技术、如光学镜片涂层的大量方法中应用处理工艺，在这些处理工艺中能量通过电极引入。对此的示例特别是用于施加、去除或改变覆层的等离子体工艺。所使用的电极在此也可以用作基层支架或气体供应器。通常应将所使用的电极保持在确定的温度上，例如以便将一个或多个基层置于对于所规定的工艺合适的温度并且保持在所述温度上或者以便避免过强地加热电极。

为了对这样的电极实现均匀调温，常见地使用流体系统或电阻性的加热器作为调温装置。在流体系统中，电极被流体、例如油、水或气体穿流，其中，流体由外部供应并且又向外部导出。电阻性的加热器要么作为面状元件要么作为直线或卷绕的加热丝设置在电极上或电极中，其中，为加热器与电极功率无关地由外部供应电能。然而在这两种情况中，电极功率的一部分通过调温装置向外部导出，由此供本来的加工工艺使用的功率减少并且也可能损害调温装置本身的部件。因此，通常耗费的绝缘或滤波电路是必要的，以便将调温装置与电极电解耦。这特别是对于高频电极、例如频率在10kHz至100MHz的范围中的电极功率中是重要的。

此外，流体系统(特别是当油用作流体时)还具有其他缺点。这样，电极或基层支架借助于油加热装置可达到的温度例如限制于约350℃。此外，基于通过流体在流动通过电极或基层支架期间的热量散发而出现在流体进入电极的地方与流体从电极排出的地方之间的温度差，由此不可能均匀地对电极调温。同样因为如此，在流体系统、特别是基于油的调温装置中存在在工艺设备之内泄露的危险，这与用于清洁设备的巨大耗费相联系。

电阻性的加热器的缺点在于，这些加热器仅允许加热电极或基层支架，然而不允许主动冷却。

原则上也已知使用热导管、也称为热管，特别是用于冷却覆层设备中的元件。这样，例如WO 95/16804 A1描述借助于热导管对气体分配板冷却，所述热导管垂直于气体分配盘的流出表面延伸并且在一个端部上被冷却套包围，冷却液体流动通过所述冷却套并且在此与热导管的表面直接接触。在EP 2 481 831 A1中也提到应用用于从高频电极导出热量的热导管，而电极的加热通过热催化器、电阻性的加热器或加热流体进行。

实用新型内容

本实用新型的任务在于，提供一种改善的用于对电极、特别是高频电极调温的系统和一种具有这样的系统的处理设备，其中，保证在调温装置和电极之间的良好电解耦并且避免或减少现存的调温系统的其他缺点。

按照本实用新型的用于对电极调温的系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置。热导管适合于至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中，而耦合元件适合于加热或冷却所述热导管的第二端部。调温装置又适合于加热或冷却耦合元件并且因此用作关于电极的热源或热宿。在此，电极和调温装置相互电流分开，从而调温装置与电极电解耦。电极本身并非必要地是按照本实用新型的用于对电极调温的系统的组成部分，而电极与用于对电极调温的系统相互协调并且适合于相互耦合。为此，所述电极至少适合于至少将热导管的第一端部容纳在电极的内部中。