[实用新型]用于对电极调温的系统以及处理设备

权利要求书

1.用于对电极调温的系统，所述系统具有至少一个热导管、至少一个耦合元件和至少一个调温装置，其中，所述热导管能至少部分地并且以至少一个第一端部设置在电极中，所述耦合元件适合于加热或冷却热导管的第二端部，并且调温装置适合于加热或冷却耦合元件，其中，所述电极和所述调温装置相互电分离。

2.按照权利要求1所述的系统，其特征在于，所述耦合元件是电极的外表面的至少一部分，热导管的第二端部邻接于该部分并且该部分相对于电极的其他区域具有提高的热吸收度。

3.按照权利要求1所述的系统，其特征在于，所述耦合元件是与电极分开的由具有高导热性的材料制成的基体并且能设置在电极的外表面的如下区域中，所述区域邻接于电极的可至少设置有热导管的第二端部的体积区域。

4.按照权利要求1所述的系统，其特征在于，所述耦合元件是与电极分开的由具有高导热性的材料制成的基体，在该基体中至少设置有热导管的第二端部。

5.按照权利要求3或4所述的系统，其特征在于，所述耦合元件由导电的材料制成。

6.按照权利要求3或4所述的系统，其特征在于，所述耦合元件由电绝缘的材料制成。

7.按照权利要求3或4所述的系统，其特征在于，所述耦合元件具有相对于耦合元件的其他区域提高的热吸收度或提高的导热性的传热面。

8.按照权利要求1至4之一所述的系统，其特征在于，所述调温装置是红外辐射器、感应器、电阻性的加热器或基于流体的装置。

9.按照权利要求1至4之一所述的系统，其特征在于，所述系统还包含温度测量单元和控制单元，其中，所述温度测量单元适合于确定与耦合元件的温度相关联的参数，控制单元适合于控制调温装置。

10.处理设备，具有处理室和至少一个在处理室之内的电极，其特征在于，所述处理设备还具有至少一个按照权利要求1至9之一所述的用于对电极调温的系统。

11.按照权利要求10所述的处理设备，其特征在于，至少一个用于对电极调温的第一系统的调温装置设置在处理室之外。

12.按照权利要求11所述的处理设备，其特征在于，用于对电极调温的第一系统的耦合元件完全设置在处理室之内并且用于对电极调温的第一系统的调温装置是红外辐射器或感应器。

13.按照权利要求10至12之一所述的处理设备，其特征在于，所述处理设备具有多个电极和多个用于对电极调温的系统，其中，至少两个用于对电极调温的系统中的耦合元件通过至少一个附加的热导管相互连接。

14.按照权利要求10至12之一所述的处理设备，其特征在于，

-所述处理设备具有多个在处理室之内的电极，所述电极的作用面分别平行于彼此并且相对置地设置，并且相邻的电极与一个或多个电压供应装置连接，使得这些电极能够加载不同的电极电压，

-用于对电极调温的系统分别包括耦合元件，所述耦合元件是与电极分开的由具有高导热性的材料制成的基体并且能设置在电极的外表面的如下区域中，所述区域邻接于电极的可至少设置有热导管的第二端部的体积区域；或者所述耦合元件是与电极分开的由具有高导热性的材料制成的基体，在该基体中至少设置有热导管的第二端部，其中，所述耦合元件分别在其外表面中的至少一个外表面上具有与所配置的电极相同的电势，并且

-用于对电极调温的系统中的配设给相邻电极的耦合元件在至少一个垂直于相邻电极的距离的方向上相互位错地设置。

15.按照权利要求10至12之一所述的处理设备，其特征在于，至少一个用于对电极调温的系统的耦合元件与电压供应装置连接，并且所述耦合元件单独地或与相应的至少一个热导管共同地适合于对所配置的电极加载电极电压。